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公开(公告)号：CN102640007B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201080055160.6
申请日：2010-10-29
申请人： 布鲁克纳米公司
发明人： 卡尔·马瑟
CPC分类号： B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q10/065 , G01Q70/04
摘要： 扫描探针显微镜(SPM)(200)具有基于压电致动器的管式扫描器(12)，所述扫描器上附接有探针(14)并且所述扫描器可以通过对压电管施加电压而在三个平面内运动。一组挠性部(40)随着所述管的位移挠曲，附接至所述挠性部的应变计(74，76，78，80)用来测量所述挠性部的挠曲从而在扫描物体期间提供关于所述管的位移的反馈信息。所述应变计和挠性部形成这样一种运动感测框架或装置，其中对每个自由度提供单独的约束并且其中所述约束至少基本上互相正交。
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公开(公告)号：CN105320152A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510397370.8
申请日：2015-07-08
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G05D3/12
摘要： 本发明提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。
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公开(公告)号：CN103069279A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180024536.1
申请日：2011-03-21
申请人： 布鲁克纳米公司
摘要： 扫描探针显微镜，例如原子力显微镜，其包括Z轴载物台和基本不含因瓦合金的桥架结构。包含探针的扫描器安装在Z轴载物台上，其可在Z轴上移动，以使探针升高和降低。提供的漂移补偿装置用于减少Z轴载物台和桥架的热漂移。漂移补偿装置包括热耦合在Z轴载物台和桥架上的加热元件、环境温度传感器以及控制器，其主动地控制加热元件，从而将桥架和Z轴载物台维持在高温。
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公开(公告)号：CN100578679C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200710138848.0
申请日：2007-05-24
申请人： 株式会社岛津制作所 , 国立大学法人大阪大学
摘要： 本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f1和f2相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f1和f2消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。
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公开(公告)号：CN1871666B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200480031224.3
申请日：2004-10-21
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 史蒂文·保罗·亨特 , 雨果·乔治·戴瑞克 , 戴维·罗伯特·麦克默特里
CPC分类号： G01Q70/04
摘要： 一种度量仪器，例如探针、探头、触针或者触针支臂，用于安装在坐标定位仪上。所述度量仪器至少部分地由至少一个具有较低热膨胀系数的热性能稳定的金属材料板制成，折叠所述至少一个金属材料板，从而形成三维结构。所述至少一个热性能稳定的材料板用在所述度量仪器的度量回路中。以这种方式，可以构造出轻且热性能稳定的度量仪器。
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公开(公告)号：CN1769860B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200510117193.X
申请日：2005-11-02
申请人： 株式会社三丰
发明人： 日高和彦
摘要： 一种表面性状测定用探针(60)，具有：探针头(65)、第1支承体(61)、第2支承体(62)、压电元件(63)、平衡器(64)。第1支承体具有：第1支承部(611)；3根梁(613)，其从等角度配置于第1支承部上的位置朝向中央延伸，用于将探针头(65)支承于其顶端。第2支承体(62)具有：第2支承部(621)；保持部(622)，其由多根梁(623)支承，该多根梁从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向中央延伸。压电元件(63)配置于探针头与保持部之间，且沿轴向振动。
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公开(公告)号：CN101317080A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044060.7
申请日：2006-09-29
申请人： JPK器具股份有限公司
CPC分类号： G01Q70/04 , G01N35/04 , G01N2035/0491 , G01Q10/04
摘要： 本发明涉及一种用于可移动部件在检验系统，特别是测量或者分析系统中定位的方法和装置，其中，在该方法中可移动部件利用联接到可移动部件上的执行元件，通过执行元件借助驱动力运动，而从起始位置移动到末端位置内，以及可移动部件经由与可移动部件连接的固位部件被施加以将可移动部件固位在末端位置上的固位力，方法是固位部件至少部分浸入介质的储存器内并在介质内借助介质从液态到固化态的转换而固定，其中，介质借助被施加以调节参数而从液态转换成固化态。
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公开(公告)号：CN1871666A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200480031224.3
申请日：2004-10-21
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 史蒂文·保罗·亨特 , 雨果·乔治·戴瑞克 , 戴维·罗伯特·麦克默特里
CPC分类号： G01Q70/04
摘要： 一种度量仪器，例如探针、探头、触针或者触针支臂，用于安装在坐标定位仪上。所述度量仪器至少部分地由至少一个具有较低热膨胀系数的热性能稳定的金属材料板制成，折叠所述至少一个金属材料板，从而形成三维结构。所述至少一个热性能稳定的材料板用在所述度量仪器的度量回路中。以这种方式，可以构造出轻且热性能稳定的度量仪器。
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公开(公告)号：CN1963451B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200610164651.X
申请日：2006-11-10
申请人： 精工电子纳米科技有限公司
IPC分类号： G01B5/28
摘要： 一种用于固定与样品相对的悬臂的振动型悬臂支架，其仅在其底端处被支撑在主体部分上并在其前端上具有探针。该支架包括：悬臂附着台，主体部分放置在其上并且利用相对于样品以预定角度倾斜的悬臂来固定；第一振动源，其被固定到悬臂附着台并以依赖于预定波形信号的相位和幅度振动；支架主体，第一振动源被固定到该支架主体；和第二振动源，其被固定到支架主体上的至少一个位置并产生振动以抵消从第一振动源行进到悬臂附着台和支架主体的振动。通过抵消另外的振动，根据仅仅悬臂的振动特性该支架允许该悬臂振动。
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公开(公告)号：CN100562674C
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN02817347.3
申请日：2002-07-19
申请人： 国际商业机器公司
摘要： 本发明公开了一种用于降低制品对机械振动的敏感性的设备，该设备包括：框架；(300)安装在框架中、用于沿着位移的第一轴、相对于框架双方向移动的第一(m1)和第二平面质量块；可围绕固定于框架的第一支点(360)旋转的第一杠杆(330)，该杠杆的一端与第一质量块(m1)连接而另一端与第二质量块(m2)连接，并且该支点(360)设置在杠杆的端点之间，其中响应沿着位移轴施加于框架上的机械振动，通过第一质量块围绕支点作用的转矩由通过第二质量块围绕支点作用的转矩抵消，使得所用由第一质量块承载的制品具有对于振动的、降低的敏感性。
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