公开(公告)号：CN102171546A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200980139645.0

申请日：2009-10-02

申请人： 瑞纳股份有限公司

发明人： 迈克尔·蒙克 ,  塞巴斯蒂安·斯迪克 ,  格哈德·林迪纳 ,  罗兰·蒂昌特-瓦格纳 ,  朱尔根·斯维肯德耶克 ,  克劳斯·波凌戈尔 ,  辛格·费迪南

IPC分类号： G01L1/02 ,  G01L5/00 ,  H01L21/00 ,  H01L31/18 ,  H01L41/113

CPC分类号： H01L21/67253 ,  G01L5/008 ,  H01L21/67173

摘要： 本发明涉及测量诸如在扁平、碟状且易碎物件的常规处理过程期间作用于其上的机械力的物理参数的方法和装置。该方法和装置特别用于太阳能电池或太阳能晶圆的制造。根据本发明的方法提供待施加于测试体(1)的处理，测试体(1)具有与所述物件基本相同的几何性质和/或机械性质，并包括至少一个传感器(2)，所述至少一个传感器用于测量在所述测试体的处理过程期间作用于所述测试体(1)的物理参数。优选地，传感器(2)设置在弹性夹层(9)上以放大测量的信号。