公开(公告)号：CN111492455B

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN201880080151.9

申请日：2018-12-12

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史费特那·瑞都凡诺 ,  安娜·萨莫洛夫 ,  常胜武 ,  法兰克·辛克莱 ,  彼德·凯勒曼

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/305

Abstract: 一种控制离子束的装置与方法。所述装置可包括电极总成，所述电极总成包括被排列成多个电极对的多个电极，所述多个电极对被排列成通过其传导离子束。给定电极对沿描述标称中央射线轨迹的圆弧的半径放置，其中第一电极对的半径以及相邻电极对的半径界定角距。所述多个电极对可界定多个角距，其中在第一配置中，所述多个角距并非全部相等。所述装置还可包括与EM连通的电源供应器，所述电源供应器被配置成向所述多个电极独立地供应电压。

公开(公告)号：CN111492455A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201880080151.9

申请日：2018-12-12

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史费特那·瑞都凡诺 ,  安娜·萨莫洛夫 ,  常胜武 ,  法兰克·辛克莱 ,  彼德·凯勒曼

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/305

Abstract: 一种装置可包括电极总成，所述电极总成包括被排列成多个电极对的多个电极，所述多个电极对被排列成通过其传导离子束。给定电极对沿描述标称中央射线轨迹的圆弧的半径放置，其中第一电极对以及相邻电极对的半径界定角距。所述多个电极对可界定多个角距，其中在第一配置中，所述多个角距并非全部相等。所述装置还可包括与EM连通的电源供应器，所述电源供应器被配置成向所述多个电极独立地供应电压。