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公开(公告)号:CN1451780A
公开(公告)日:2003-10-29
申请号:CN03122906.9
申请日:2003-04-18
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/285 , H01L21/8242 , H01L27/108
CPC classification number: C07F15/0046 , C23C16/18
Abstract: 本发明涉及以有机钌化合物为主要成分的CVD用原料化合物。该有机钌化合物在钌上配位有2个β-二酮类,还配位有二烯类、二胺类或2个有机配位体。在本发明中,通过规定配位的β-二酮类的碳原子数和二烯类等的种类,使有机钌化合物的蒸气压较为理想。
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公开(公告)号:CN1455016A
公开(公告)日:2003-11-12
申请号:CN03123156.X
申请日:2003-04-24
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18
Abstract: 本发明是以有机铱化合物为主成分的CVD用原料化合物。有机铱化合物由三(5-甲基-2,4-己二酮合)铱形成。使用了这种原料化合物的化学气相蒸镀方法,可以高效地制得形态良好的纯铱薄膜及氧化铱薄膜。
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