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公开(公告)号：CN101103500A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580046803.X
申请日：2005-11-21
申请人： 电子科学工业公司
CPC分类号： H01S3/082 , B23K26/0622 , H01S3/07 , H01S3/0805 , H01S3/08086 , H01S3/083 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/109 , H01S3/117 , H01S3/127 , H01S3/1611
摘要： 多个具有不同设计配置的次谐振器(12、14)共用共同的谐振器部分(18)，使得产生激光的动作能够大致上同步以提供相干激光脉冲，该相干激光脉冲合并由次谐振器(12、14)的配置所赋予的不同的各自的脉冲能量廓形和/或脉冲宽度特性。次谐振器(12、14)可共用位于共同部分内的激光介质(42)，或者每个不同的次谐振器部分(28、36)具有其本身的激光介质(42)。示例性长次谐振器(12)和短次谐振器(14)产生特别修整过的激光脉冲，在一个波长或是两个不同波长上，此修整过的激光脉冲具有短上升时间和长脉冲宽度，这对于包括存储器链路处理在内的各种激光和微机械加工应用是大有益处的。
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公开(公告)号：CN101099226A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200580046342.6
申请日：2005-11-29
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： H01L21/26
CPC分类号： B23K26/067 , B23K26/0673
摘要： 激光束切换系统(50)应用耦合到光束切换装置(58)的激光器(52)，这种激光切换装置使得激光束在第一和第二光束定位头之间切换，这样当第一光束定位头(60)正在引导激光束加工工件目标位置时，第二光束定位头(62)同时移动到另外一个目标位置，反之亦然。优选的光束切换装置包括第一和第二AOM。当施加RF到第一AOM(72)时，激光束向第一光束定位头衍射，并且当施加RF到第二AOM(74)时，激光束向第二光束定位头衍射。工件加工系统(120)使用一个通用模块化成像光学组件(122)和一个可选的可变光束扩展器(94)来对多个激光束进行光学处理。
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公开(公告)号：CN101102866A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580046660.2
申请日：2005-12-07
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： B23K26/40 , H01L21/461
CPC分类号： H01L23/5258 , B23K26/0604 , B23K26/0613 , B23K26/0622 , B23K26/067 , B23K26/361 , B23K26/40 , B23K2103/08 , B23K2103/10 , B23K2103/12 , B23K2103/14 , B23K2103/172 , B23K2103/26 , B23K2103/50 , H01L2924/0002 , H01S3/10046 , H01S3/2383 , Y10S438/94 , H01L2924/00
摘要： 由分布图的不同时间的不同激光波长表征的特定形状的激光脉冲能量分布图(98，104，156)，提供了减小的、受控制的抖动，从而使得可以进行能够获得高质量加工和较小可能光斑尺寸的半导体器件微加工。
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