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公开(公告)号：CN109141224B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201811166494.5
申请日：2018-10-08
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种基于结构光的干涉反射式光学薄膜显微测量方法，属于光学成像技术领域。包括如下步骤：步骤一、利用结构光作为光源，将结构光通过显微物镜后照射在待测样品表面，待测样品包括透明基底和光学薄膜，光学薄膜包括多个光学膜层，结构光通过待测样品的透明基底后在光学薄膜的多层光学膜层发生反射，所有光学膜层的反射光形成多光束干涉并在透明基底表面形成干涉图样，通过调节显微物镜与待测样品之间的距离在透明基底表面形成清晰的干涉图样；步骤二、拍摄透明基底表面的干涉图样经过显微物镜放大后的变形干涉图样，根据采集的变形干涉图样中各处的光强信息确定光学薄膜对应位置的膜层数量或表面形貌。本发明准确、简单、快速且适用范围广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110057841A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910367328.X
申请日：2019-05-05
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/958
Abstract: 一种基于透射结构光的缺陷检测方法，用于检测高透射率被测物体的缺陷。首先产生条纹结构光投射到被测物体表面，条纹结构光透射经过被测物体后产生变形条纹结构光；采集变形条纹结构光，并利用调制度技术将采集到的光强图转换为调制度图；结合后续算法可得到被测物体的表面缺陷信息。此方法尤其适用于大尺寸大曲率玻璃盖板的缺陷检测。与反射系统相比，本发明提出的透射系统消除了寄生条纹的影响，提升了采集图像的条纹对比度，提高了原始图像的信噪比，改善了测量结果。整个检测流程中，不需要复杂的标定过程，也不需要积分重建出物体的高度信息，避免了积分算法带来的误差，具有快速、易操作、简单实用的特点。
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公开(公告)号：CN109141224A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811166494.5
申请日：2018-10-08
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种基于结构光的干涉反射式光学薄膜显微测量方法，属于光学成像技术领域。包括如下步骤：步骤一、利用结构光作为光源，将结构光通过显微物镜后照射在待测样品表面，待测样品包括透明基底和光学薄膜，光学薄膜包括多个光学膜层，结构光通过待测样品的透明基底后在光学薄膜的多层光学膜层发生反射，所有光学膜层的反射光形成多光束干涉并在透明基底表面形成干涉图样，通过调节显微物镜与待测样品之间的距离在透明基底表面形成清晰的干涉图样；步骤二、拍摄透明基底表面的干涉图样经过显微物镜放大后的变形干涉图样，根据采集的变形干涉图样中各处的光强信息确定光学薄膜对应位置的膜层数量或表面形貌。本发明准确、简单、快速且适用范围广。
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公开(公告)号：CN107884414A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711071265.0
申请日：2017-11-03
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法，属于光学成像技术领域。本发明在传统基于调制度分析原理的斜投斜拍式检测系统中引入检偏装置，基于线偏振结构光经灰尘散射发生偏振态改变的原理，实现了识别镜面物体的表面灰尘信息，故而通过与缺陷及灰尘分布信息图对比分析，即可得到剔除灰尘影响的待测镜面物体表面缺陷信息。本发明检测系统结构紧凑，克服了传统检测需要大量人工检测的局限性；避免了复杂的标定过程，也无需积分重建待测物体的高度信息，避免了积分算法带来的误差；同时，解决了传统基于调制度原理的检测系统存在点缺陷与灰尘点难以区分的问题；因此本发明检测系统和检测方法具有准确、简单、快速和实用的优势。
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公开(公告)号：CN107884414B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201711071265.0
申请日：2017-11-03
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法，属于光学成像技术领域。本发明在传统基于调制度分析原理的斜投斜拍式检测系统中引入检偏装置，基于线偏振结构光经灰尘散射发生偏振态改变的原理，实现了识别镜面物体的表面灰尘信息，故而通过与缺陷及灰尘分布信息图对比分析，即可得到剔除灰尘影响的待测镜面物体表面缺陷信息。本发明检测系统结构紧凑，克服了传统检测需要大量人工检测的局限性；避免了复杂的标定过程，也无需积分重建待测物体的高度信息，避免了积分算法带来的误差；同时，解决了传统基于调制度原理的检测系统存在点缺陷与灰尘点难以区分的问题；因此本发明检测系统和检测方法具有准确、简单、快速和实用的优势。
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公开(公告)号：CN110186937A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910558705.8
申请日：2019-06-26
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测方法及系统；本发明在传统基于调制度分析原理的斜投斜拍式检测系统中引入均匀照明光源模块，基于散射原理，实现了识别镜面物体的表面灰尘信息，故而通过与缺陷及灰尘分布信息图对比分析，即得到剔除灰尘影响的待测镜面物体表面二维缺陷信息。本发明检测系统，结构紧凑，克服了传统检测需要大量人工检测的局限性；避免了复杂的标定过程，也无需积分重建待测物体的高度信息，避免了积分算法带来的误差；同时，解决了传统基于调制度原理的检测系统存在点缺陷与灰尘点难以区分的问题；因此本发明检测系统和检测方法具有准确，简单，快捷和实用的优势。
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