-
公开(公告)号:CN106684705A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201611178981.4
申请日:2016-12-19
申请人: 电子科技大学
摘要: 一种基于载流子诱导波导光栅的硅基可调谐激光器,涉及光电子器件技术领域,其主旨在于解决现有技术中利用外腔光栅结构的激光器调谐输出波长过程复杂、调谐速度慢、结构尺寸较大、制作成本较高和难与硅基器件集成等问题。包括从下至上依次设置的衬底(1)、缓冲层(2)、下光包层(3)、下势垒层(4)、有源层(7)、上势垒层(8)、上光包层(9)和欧姆接触层(10),下势垒层(4)上还设置有分别位于有源层(7)两侧的第一光栅(5)和第二光栅(6)。