公开(公告)号：CN102159334A

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200980135888.7

申请日：2009-09-08

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·H·克鲁特威克 ,  P·迪克森 ,  M·米尔德 ,  E·M·L·穆纳恩

IPC: B06B1/02

CPC classification number: B60B1/0292 ,  B06B1/0292 ,  H02N1/006 ,  H02N1/08 ,  Y10T29/49005

Abstract: 本申请公开了一种电容性微机械加工的超声换能器，其包括：硅衬底；腔；第一电极，其被布置在硅衬底和腔之间；其中，第一电极被布置在腔之下；膜，其中，膜被布置在腔之上并且与第一电极相对；第二电极，其中，第二电极被布置在腔之上并且与第一电极相对；其中，第二电极被布置在膜内或靠近膜，其中，第一电极和第二电极适于由电压供应；以及第一隔离层，其被布置在第一电极和第二电极之间，其中，第一隔离层包括电介质。还描述了用于生成或检测超声波的系统，其中，该系统包括根据本申请的换能器。此外，公开了一种用于制造根据本申请的换能器的方法，其中，借助于CMOS制造工艺制造换能器，其中，可以按照CMOS工艺期间的后处理特征制造换能器。