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公开(公告)号:CN102159334A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200980135888.7
申请日:2009-09-08
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B60B1/0292 , B06B1/0292 , H02N1/006 , H02N1/08 , Y10T29/49005
Abstract: 本申请公开了一种电容性微机械加工的超声换能器,其包括:硅衬底;腔;第一电极,其被布置在硅衬底和腔之间;其中,第一电极被布置在腔之下;膜,其中,膜被布置在腔之上并且与第一电极相对;第二电极,其中,第二电极被布置在腔之上并且与第一电极相对;其中,第二电极被布置在膜内或靠近膜,其中,第一电极和第二电极适于由电压供应;以及第一隔离层,其被布置在第一电极和第二电极之间,其中,第一隔离层包括电介质。还描述了用于生成或检测超声波的系统,其中,该系统包括根据本申请的换能器。此外,公开了一种用于制造根据本申请的换能器的方法,其中,借助于CMOS制造工艺制造换能器,其中,可以按照CMOS工艺期间的后处理特征制造换能器。
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公开(公告)号:CN101069310A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200580040259.8
申请日:2005-11-25
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: F·罗泽博姆 , P·诺滕 , A·L·A·M·凯默恩 , J·H·克鲁特威克
IPC: H01M6/40
CPC classification number: H01M4/58 , H01G9/15 , H01M2/10 , H01M6/40 , H01M6/48 , H01M10/044 , H01M10/0562
Abstract: 本发明涉及一种包括下列中的至少一个组件的电化学能源:第一电极、第二电极和分开所述第一电极和所述第二电极的中间固态电解质。本发明还涉及设有这种电化学能源的电子模块。本发明还涉及设有这种电化学能源的电子器件。而且,本发明涉及一种制造这种电化学能源的方法。
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