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公开(公告)号：CN114152626B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210115378.0
申请日：2022-02-07
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明涉及一种应用于缺陷高度测量的方法及装置，其中，方法包括将相机对准待检测缺陷；带动所述相机沿垂直于所述待检测缺陷的方向单向移动，并控制所述相机每移动系统预设间隔距离就进行一次拍摄，以拍摄到的各张图片中的各相邻像素点之间灰度差值的绝对值的总和与所述相机的位移距离为依据，获取所述待检测缺陷的高度。通过本发明的方法及对应的装置利用拍摄到的缺陷的照片的灰度差值的差异与相机的移动距离来获得缺陷高度，可基于普通相机也能满足对缺陷高度进行检测的需求，有效降低检测成本，提高适应性，且保障了检测的精度及检测的效率，有效控制产品的质量。
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公开(公告)号：CN114156223A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111613982.8
申请日：2021-12-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明涉及一种晶圆吸附装置，其中，包括主吸盘、数个扰性吸盘及升降驱动模块；数个所述扰性吸盘分布于所述主吸盘的吸盘体内；所述升降驱动模块分别与各个所述扰性吸盘相连接，用于带动各个所述扰性吸盘沿所述主吸盘的轴向上下移动。采用本发明的晶圆吸附装置可在需要对外部的翘曲的晶圆进行吸附时，先采用扰性吸盘对待吸附晶圆进行吸附，并在升降驱动模块的带动下下拉翘曲的晶圆，减少晶圆与主吸盘的吸盘体之间的间隙，使得主吸盘具备足够的真空吸附能力，然后由主吸盘对晶圆进行吸附，这样的结构设计可使得晶圆吸附装置可对翘曲的晶圆进行吸附，减少设备状况排除率，提高利用率，保障生产效率，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN114152626A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202210115378.0
申请日：2022-02-07
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明涉及一种应用于缺陷高度测量的方法及装置，其中，方法包括将相机对准待检测缺陷；带动所述相机沿垂直于所述待检测缺陷的方向单向移动，并控制所述相机每移动系统预设间隔距离就进行一次拍摄，以拍摄到的各张图片中的各相邻像素点之间灰度差值的绝对值的总和与所述相机的位移距离为依据，获取所述待检测缺陷的高度。通过本发明的方法及对应的装置利用拍摄到的缺陷的照片的灰度差值的差异与相机的移动距离来获得缺陷高度，可基于普通相机也能满足对缺陷高度进行检测的需求，有效降低检测成本，提高适应性，且保障了检测的精度及检测的效率，有效控制产品的质量。
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公开(公告)号：CN115118849A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210706448.X
申请日：2022-06-21
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明涉及一种成像系统调节装置及调节方法，其中，成像系统调节装置包括相互配合使用的镜头调节机构、光源调节机构、光源检测机构及总控装置，并采用支撑组件、镜头固定组件、俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件调节来调节固定于镜头调节机构上的镜头的位置，从而可更精准地调节镜头的对焦位置及角度，并提供良好的光源，其中，通过将镜头先固定于镜头固定组件上，再通过俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件来对固定了镜头的镜头固定组件的位置及角度进行调整，有效减少镜头安装过程中带来的偏差，从而更好地进行对焦。该成像系统调节装置及调节方法具备操作方便、提高清晰度及检测时的精准度、性能佳、适应性好的特点。
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公开(公告)号：CN114166754A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111611765.5
申请日：2021-12-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其中，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动晶圆移动，且晶圆升降承载模块位于光学检测设备下方；距离检测模块，设于自动对焦装置中能够检测到晶圆与光学检测设备之间的间隔距离的位置，且距离检测模块与晶圆升降承载模块相连接。采用该自动对焦装置通过固定光学检测设备，采用晶圆升降承载模块调节晶圆位置来实现调焦，可更好地对晶圆进行拍摄，有效缩短整定时间，更令光学检测设备可更快地完成调焦，并且由于晶圆整体结构较轻，其并不会在垂直方向产生很大的惯量，从而降低对制动马达扭力的要求。
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公开(公告)号：CN216648265U
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202123361514.4
申请日：2021-12-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本实用新型涉及一种晶圆吸附装置，其中，包括主吸盘、数个扰性吸盘及升降驱动模块；数个所述扰性吸盘分布于所述主吸盘的吸盘体内；所述升降驱动模块分别与各个所述扰性吸盘相连接，用于带动各个所述扰性吸盘沿所述主吸盘的轴向上下移动。采用本实用新型的晶圆吸附装置可在需要对外部的翘曲的晶圆进行吸附时，先采用扰性吸盘对待吸附晶圆进行吸附，并在升降驱动模块的带动下下拉翘曲的晶圆，减少晶圆与主吸盘的吸盘体之间的间隙，使得主吸盘具备足够的真空吸附能力，然后由主吸盘对晶圆进行吸附，这样的结构设计可使得晶圆吸附装置可对翘曲的晶圆进行吸附，减少设备状况排除率，提高利用率，保障生产效率，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN216816427U
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202123315058.X
申请日：2021-12-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其中，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动晶圆移动，且晶圆升降承载模块位于光学检测设备下方；距离检测模块，设于自动对焦装置中能够检测到晶圆与光学检测设备之间的间隔距离的位置，且距离检测模块与晶圆升降承载模块相连接。采用该自动对焦装置通过固定光学检测设备，采用晶圆升降承载模块调节晶圆位置来实现调焦，可更好地对晶圆进行拍摄，有效缩短整定时间，更令光学检测设备可更快地完成调焦，并且由于晶圆整体结构较轻，其并不会在垂直方向产生很大的惯量，从而降低对制动马达扭力的要求。
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公开(公告)号：CN217825099U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202221583372.8
申请日：2022-06-21
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种成像系统调节装置，其中，成像系统调节装置包括相互配合使用的镜头调节机构、光源调节机构、光源检测机构及总控装置，并采用支撑组件、镜头固定组件、俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件调节来调节固定于镜头调节机构上的镜头的位置，从而可更精准地调节镜头的对焦位置及角度，并提供良好的光源，其中，通过将镜头先固定于镜头固定组件上，再通过俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件来对固定了镜头的镜头固定组件的位置及角度进行调整，有效减少镜头安装过程中带来的偏差，从而更好地进行对焦。该成像系统调节装置具备操作方便、提高清晰度及检测时的精准度、性能佳、适应性好的特点。
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公开(公告)号：CN216648262U
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202123315074.9
申请日：2021-12-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 本实用新型涉及一种晶圆定位装置，包括晶圆校准盘，所述晶圆校准盘中间包括定位开口，所述定位开口的尺寸与形状与待定位晶圆的尺寸与形状相匹配；所述晶圆校准盘包括两个拼合件，两个所述拼合件拼合时能围合形成所述定位开口。采用该实用新型的晶圆定位装置，用户仅需将晶圆定位装置放置在卡盘上，然后将晶圆放置在定位开口处，就可实现将晶圆中心与卡盘中心对准，提高校准效率，同时可有效避免将晶圆校准盘取出时，误触晶圆导致晶圆位移，采用该晶圆定位装置可大幅度缩短晶圆与卡盘中心的对准时间，操作方便快捷，有效提高工作效率与安全系数。
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