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公开(公告)号：CN117080156B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311345153.5
申请日：2023-10-18
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/683
摘要： 本发明提供了一种用于晶圆检测的载台装置，包括底座、直驱旋转电机、旋转平台、三个第一升降机构、三个第一导向机构、真空吸盘等部件。本发明载台装置的旋转平台独立设置，由直驱旋转电机驱动；第一升降机构布置在旋转平台上，减少第一升降机构的负载，提高升降调焦响应速度；旋转平台和第一升降机构独立运行，不会相互影响，提高运动稳定性；由三个第一升降机构驱动真空吸盘运动，等边三角形的结构稳定性高，保证真空吸盘平稳运动；由三个第一导向机构对真空吸盘运动方向进行导向，且三个第一导向机构呈等边三角形布置，进一步提高了运动稳定性，从而保证检测精度，满足晶圆高精度检测需要。
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公开(公告)号：CN117074739B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311345176.6
申请日：2023-10-18
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G01R1/04
摘要： 本发明提供了一种用于晶圆检测的气浮运动装置，包括机架、基台、气浮承载座、Y轴运动模块、X轴运动模块。本发明的气浮运动装置采用独立的气浮承载座支撑载物台移动，Y轴运动模块直接以基台作为气浮工作面，X轴运动模块整体堆叠设置在Y轴运动模块上，Y轴运动模块和X轴运动模块均采用气浮轴承实现气浮式移动，装置整体刚度高，承载能力强，运动稳定性好，可以满足晶圆高精度检测要求。
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公开(公告)号：CN117031865A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310948309.2
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明提供一种同一光路切换双相机光路装置和方法，装置包括设置于相机座上的第一相机和第二相机，装置设有可活动的反射镜，通过改变反射镜的位置使得入射光束分别位于第一相机和第二相机的入射光路。方法包括把入射光束设置于第一相机的入射光路上，移动反射镜至远离第一相机的镜头，入射光束入射至第一相机的镜头；移动反射镜至第二相机的入射光路上，入射光束通过反射镜反射至第二相机的镜头。本发明通过活动机构改变第一棱镜和第二棱镜的位置，使得入射光束分别位于第一相机和第二相机的入射光路，从而使得同一路光路入射至两个相机时光线清晰，并且结构简单，降低了成本以及调试难度。
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公开(公告)号：CN116300048A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310103113.3
申请日：2023-02-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G02B26/02
摘要： 本发明提出一种狭缝切换装置，该装置包括：狭缝组件1，用于光路中光通量的调节。该狭缝组件1包括：一个或多个狭缝片11、支架12和导轨13。该狭缝片11上开有尺寸固定的狭缝14。该狭缝片11在该支架12上以逐片层叠的方式排列。每个该狭缝片11都有相应的该导轨13对应，该导轨13安装在该支架12上。该狭缝片11能够通过沿着相应的该导轨13移动，使得该狭缝14进入或退出该光路。该装置解决了现有技术中体积较大、增加光路光程的距离、狭缝刀口加工的工艺性复杂且成本高、结构复杂、批量设备的调试困难等问题，提供了一种简易适用又具有较高的精度的狭缝调节技术。
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公开(公告)号：CN117038505A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310948367.5
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , G01N21/95 , G01N21/01
摘要： 本发明提供一种晶圆检测装置和方法，装置包括设置在基台上的XY机构和图像采集机构，图像采集机构包括图像采集器和测距模块，测距模块位于图像采集器的一侧；XY机构上设有升降机构，升降机构的升降端设有晶圆载台。方法包括预先测定标定物与图像采集器的测量镜头之间的距离，装载有待测晶圆的晶圆载台根据蛇形路径从测距模块至图像采集器形成的方向移动进行采图检测，通过对焦距离预测值修正待测晶圆在采图检测过程中与图像采集器的对焦距离。本发明通过把实时测定的对焦距离值与预先测定的对焦距离值比对修正，从而使得对晶圆正常采图时就能保证采图的质量，并且检测装置结构简单，从很大程度上提升了晶圆采图检测的效率，降低了采图检测成本。
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公开(公告)号：CN117080156A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311345153.5
申请日：2023-10-18
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/683
摘要： 本发明提供了一种用于晶圆检测的载台装置，包括底座、直驱旋转电机、旋转平台、三个第一升降机构、三个第一导向机构、真空吸盘等部件。本发明载台装置的旋转平台独立设置，由直驱旋转电机驱动；第一升降机构布置在旋转平台上，减少第一升降机构的负载，提高升降调焦响应速度；旋转平台和第一升降机构独立运行，不会相互影响，提高运动稳定性；由三个第一升降机构驱动真空吸盘运动，等边三角形的结构稳定性高，保证真空吸盘平稳运动；由三个第一导向机构对真空吸盘运动方向进行导向，且三个第一导向机构呈等边三角形布置，进一步提高了运动稳定性，从而保证检测精度，满足晶圆高精度检测需要。
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公开(公告)号：CN117074739A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311345176.6
申请日：2023-10-18
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G01R1/04
摘要： 本发明提供了一种用于晶圆检测的气浮运动装置，包括机架、基台、气浮承载座、Y轴运动模块、X轴运动模块。本发明的气浮运动装置采用独立的气浮承载座支撑载物台移动，Y轴运动模块直接以基台作为气浮工作面，X轴运动模块整体堆叠设置在Y轴运动模块上，Y轴运动模块和X轴运动模块均采用气浮轴承实现气浮式移动，装置整体刚度高，承载能力强，运动稳定性好，可以满足晶圆高精度检测要求。
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公开(公告)号：CN221125067U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202322050614.8
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种同一光路切换双相机光路装置，包括设置于相机座上的第一相机和第二相机，装置设有可活动的反射镜，通过改变反射镜的位置使得入射光束分别位于第一相机和第二相机的入射光路，第一相机和第二相机相邻设置，第一相机和第二相机的入射光路互相垂直，第一相机的入射光路与第二相机的入射光路的长度相等，反射镜包括第一棱镜和第二棱镜，第一棱镜的斜面朝向所述第二相机的镜头，第二棱镜的斜面背朝向第一相机的镜头。本实用新型通过活动机构改变第一棱镜和第二棱镜的位置，使得入射光束分别位于第一相机和第二相机的入射光路，从而使得同一路光路入射至两个相机时光线清晰，并且结构简单，降低了成本以及调试难度。
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公开(公告)号：CN220603575U
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202322027335.X
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G01R19/00 , G01R31/385
摘要： 本实用新型提供一种用于RAM存储器的供电监测装置，RAM存储器分别设置于半导体检测设备传送装置的对准器、操作装置和控制器内，包括电压表、可拆卸电池的第一电池座，第一电池座的导线分别连接于RAM存储器的供电端、电压表的检测端。本实用新型的一种用于RAM存储器的供电监测装置，通过设置电压表、可拆卸电池的电池座能直观地得知电池的实时电压，还能更方便地对电池进行拆卸更换，保证了设备可以更稳定运行，节省了大量时间。
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公开(公告)号：CN219641992U
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202320114348.8
申请日：2023-01-17
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种光学组件调整装置，包括主体结构，所述主体结构包括滑动结构，所述滑动结构包括第一背板、第二背板和导向装置，所述导向装置包括与所述第一背板相连的第一导向件以及与所述第二背板相连的第二导向件，所述第一导向件和所述第二导向件可沿所述导向装置的长度方向相对滑动地连接在一起，所述第一背板和所述第二背板之间设有第一调节机构；所述主体结构还包括微调平台，所述微调平台包括可沿Z轴上下滑动的第一微调板、可绕Y轴旋动的第二微调板、可绕X轴旋动的第三微调板以及可绕Z轴旋动的镜筒固定板。本实用新型的一种光学组件调整装置可在多个维度精确调整光学组件，结构简单、操作灵活、便携性好、占用空间小。
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