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公开(公告)号:CN113924522A
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202080020712.3
申请日:2020-03-11
申请人: 相干激光系统有限公司
IPC分类号: G02B27/09
摘要: 用于将激光辐射束转换成具有较亮或较暗边缘的平顶强度分布的光束均化器(30),包括第一透镜阵列(32)、第二透镜阵列(14)和正透镜(16)。第一透镜阵列(32)包括由没有光焦度的间隙(34)隔开的多个透镜元件(20)。通过选择小于或大于第二透镜阵列中透镜元件的焦距的第一透镜阵列和第二透镜阵列之间的距离来产生较亮边缘或较暗边缘。
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公开(公告)号:CN113924522B
公开(公告)日:2024-08-02
申请号:CN202080020712.3
申请日:2020-03-11
申请人: 相干激光系统有限公司
IPC分类号: G02B27/09
摘要: 用于将激光辐射束转换成具有较亮或较暗边缘的平顶强度分布的光束均化器(30),包括第一透镜阵列(32)、第二透镜阵列(14)和正透镜(16)。第一透镜阵列(32)包括由没有光焦度的间隙(34)隔开的多个透镜元件(20)。通过选择小于或大于第二透镜阵列中透镜元件的焦距的第一透镜阵列和第二透镜阵列之间的距离来产生较亮边缘或较暗边缘。
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公开(公告)号:CN107889474B
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN201680017057.X
申请日:2016-02-23
申请人: 相干激光系统有限公司
IPC分类号: G02B27/28 , G02B27/09 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , H01L21/02 , H01L27/12
摘要: 在激光线投射设备(10)中,六个间隔开的非偏振激光束通过薄膜偏振器(14)、反射器(18)和两个偏振旋转器(20A,20B)组合而低损耗地平面偏振化。两个光束在三个偏振取向中的每一个偏振。两个偏振取向在P和S取向彼此正交对齐。其他偏振取向在中间取向非正交对齐。光束被强度均匀化并投射到辐射线中。辐射线上的任何点由这样的光线形成,其具有通过中间取向从S到P并且通过中间取向回到S的偏振取向的角分布。
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公开(公告)号:CN107889474A
公开(公告)日:2018-04-06
申请号:CN201680017057.X
申请日:2016-02-23
申请人: 相干激光系统有限公司
IPC分类号: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , G02B27/09 , G02B27/28 , H01L21/02 , H01L27/12
CPC分类号: G02B27/285 , B23K26/0604 , B23K26/0608 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/0738 , B23K2103/56 , G02B27/0905 , G02B27/286 , H01L21/02532 , H01L21/02678 , H01L21/02686 , H01L27/1285
摘要: 在激光线投射设备(10)中,六个间隔开的非偏振激光束通过薄膜偏振器(14)、反射器(18)和两个偏振旋转器(20A,20B)组合而低损耗地平面偏振化。两个光束在三个偏振取向中的每一个偏振。两个偏振取向在P和S取向彼此正交对齐。其他偏振取向在中间取向非正交对齐。光束被强度均匀化并投射到辐射线中。辐射线上的任何点由这样的光线形成,其具有通过中间取向从S到P并且通过中间取向回到S的偏振取向的角分布。
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