公开(公告)号：CN108109938B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201711127994.3

申请日：2017-11-14

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： A·W·科伊尼 ,  M·惠兰 ,  M·A·梅洛尼 ,  J·D·科利斯 ,  R·戴尼奥 ,  S·莱恩斯

IPC: H01L21/67 ,  H01J37/32

Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。

公开(公告)号：CN108109938A

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201711127994.3

申请日：2017-11-14

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： A·W·科伊尼 ,  M·惠兰 ,  M·A·梅洛尼 ,  J·D·科利斯 ,  R·戴尼奥 ,  S·莱恩斯

IPC: H01L21/67 ,  H01J37/32

CPC classification number: G01N21/274 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/443 ,  G01N21/66 ,  H01J37/32963 ,  H01J37/32972 ,  H01J2237/2482 ,  H01L21/681 ,  H01L22/26 ,  H05H1/0006

Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。