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公开(公告)号：CN116334600A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310089512.9
申请日：2023-02-08
申请人： 福建建壹真空科技有限公司
摘要： 本申请提供一种磁增强PECVD卷绕镀膜的生产装置，包括真空室、卷绕系统、镀膜系统、前处理系统，真空室包括真空抽气系统，用于抽真空；前处理系统包括离子源及氩气供气单元，卷绕系统用于传送基膜，其包括收卷辊、放卷辊、测速辊及张力测量辊；测速辊内置有测速传感器，用于监测并控制卷绕系统的运输速度；张力测量辊内置有张力传感器，用于监测并控制卷绕系统的横向运输张力；镀膜系统包括布气盒及电极辊组，所述布气盒内通镀膜工艺气体；电极辊内置有3对条形磁铁，通过真空室内设置卷绕系统、镀膜系统及前处理系统，可以连续对基膜表面镀膜，完成抽真空、清洗基膜、镀膜等工序，自动化程度高，且在同一真空室完成，方便操作。
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公开(公告)号：CN118147583A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410291111.6
申请日：2024-03-14
申请人： 福建建壹真空科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种镀膜均匀的镀膜系统、镀膜方法，包括：真空室，所述真空室通过相应的真空系统获得真空环境；放卷机构；收卷机构；缠绕机构，包括镀膜辊，所述镀膜辊将绕经的所述基片张开并暴露所述基片的底面，所述镀膜辊包括辊体，所述辊体为内设置有安装腔体，所述安装腔体可密封设置，所述辊体的外表面包覆有橡胶层，所述橡胶层在其左右两端各埋设有环形囊，所述辊体内设置有泵体，所述泵体用于对所述环形囊加压或泄压，所述环形囊加压后将所述橡胶层的两端鼓起形成两边粗中间等径的结构；若干蒸发源，等间距间隔设置于所述镀膜辊轴线下方；控制系统，用于控制所述泵体加压或泄压。
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公开(公告)号：CN221145355U
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202323243888.5
申请日：2023-11-29
申请人： 福建建壹真空科技有限公司
IPC分类号： F16K3/12 , F16K3/314 , F16K3/316 , F16K31/524 , F16K51/02
摘要： 本实用新型提供了一种真空生产线的真空阀机构，包括：阀座，设于真空室的一侧壁上，阀座中部设有与传输口对应连通的密封口；两竖向导向机构，对称设于阀座的两侧；阀体，两端分别上下滑动设于竖向导向机构上，阀体两端与两竖向导向机构的同一端之间分别设有竖向的复位弹簧，阀体和阀座的相对侧相契合设置，且阀体靠近阀座的一侧设有密封圈；转动机构，包括转动设于真空室顶部的转动轴和用于驱动转动轴旋转的驱动装置，转动轴的中部对称固设有若干抵设于阀体顶部的凸轮，可以通过阀体和阀座的配合实现对传输口的启闭，通过阀体和阀座相对侧贴合密封，面对适配不同尺寸的传输口，只需满足密封圈环设于密封口外周，即可实现密封传输口。
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公开(公告)号：CN221396285U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323527668.5
申请日：2023-12-22
申请人： 福建建壹真空科技有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种高适应性薄轻片材上料装置，包括：底部开口的壳体，所述壳体内形成真空腔；可上下升降设于所述壳体内的压板，所述压板内嵌设有若干吸盘，若干所述吸盘的顶部连接相应的抽真空装置；设于所述压板顶部两侧的若干抱合组件，所述抱合组件包括安装于所述壳体内的安装架、设于所述安装架内的从动装置、上端与所述从动装置联动设置的抱抓，同侧的所述抱抓的下端顶部固设有抵设于所述压板底部的压杆。可以实现在真空环境下上料装置也可对薄轻片材进行稳定地自动化上料，进而完成后续自动化搬运、移动等任务，大大提高生产线的生产效率，提高了上料装置的应用环境，提高其适应性。
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