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公开(公告)号：CN220454741U
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202321994268.2
申请日：2023-07-27
申请人： 福建金石能源有限公司
IPC分类号： G01L1/04
摘要： 本实用新型公开了一种测试磁流体的施力装置，包括固定框架和施力机构，所述固定框架由固定板、固定管箍、固定螺栓、锁紧螺母、压板组成，所述施力机构由弹簧、活动板、调整螺钉、轴承组成，所述固定框架通过固定管箍套设在磁流体外壳上，固定管箍穿过固定板套好固定螺母，所述压板通过固定螺栓和锁紧螺母固定安装在固定板上，所述弹簧设置在压板和活动板之间，所述调整螺钉一端穿过固定板、活动板和弹簧抵在压板上，另一端抵住轴承，所述轴承套设在磁流体上。本实用结构轻巧，占用空间极小，施加的力大小可控，工作过程稳定可靠。
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公开(公告)号：CN220120849U
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202321104401.2
申请日：2023-05-10
申请人： 福建金石能源有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种测试阴极装置的真空腔室，其包含真空腔室和腔体外部机构组成，腔体外部机构依次设置有泵组装置、真空监测装置、检漏装置、转动电机装置、管道连接装置、冷却循环装置及门盖密封装置。该测试阴极装置的真空腔室实现测试腔室的抽真空、真空度监测、检漏等功能的同时通过门盖上设置的通口，更方便将阴极测试装置直接通过密封面连接到门盖上进行单组阴极测试或多组阴极测试。实现了对阴极装置等测试装置的重复模拟测试；提前测试模拟老化生产和提前预判产品的使用寿命及预防控制及提升产品的性能，为提升真空设备产品的稳定性和可靠性奠定坚实的基础。
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公开(公告)号：CN217562527U
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202221040005.3
申请日：2022-04-29
申请人： 福建金石能源有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/687 , H01L31/18 , B25B11/00
摘要： 本实用新型涉及一种制绒花篮抓取装置，它包括由驱动设备带动升降移动的悬臂、固定于悬臂上且沿悬臂延伸方向间隔设置的两个以上的抓臂组件以及固定于抓臂组件上对载片花篮抓取到位情况进行检测的接近感应开关；所述抓臂组件包括上部竖向固定于悬臂上且内部镂空的抓臂基础件以及与抓臂基础件下部固定连接的抓取单元；相邻两个抓取单元上分设有对向设置以对载片花篮进行对位抓取的插销爪。本实用新型的目的在于提供一种制绒花篮抓取装置，其结构简洁，安装维护方便，在工作过程中抓取准确，且液体残留少。
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公开(公告)号：CN214736082U
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202120705369.8
申请日：2021-04-07
申请人： 福建金石能源有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种优化腔室设置的线式PECVD设备，它包括预热室、与预热室出料端相连的反应室以及与反应室出料端相连的冷却室；所述预热室进料端设有预热室第一密封隔断组件；所述预热室与反应室之间设有反应室第一密封隔断组件；所述反应室与冷却室之间设有冷却室第一密封隔断组件；所述冷却室出料端设有冷却室第二密封隔断组件；所述预热室由依次连接的两个以上预热腔构成；相邻预热腔之间设有预热室第二密封隔断组件。本实用新型的目的在于提供一种优化腔室设置的线式PECVD设备，缩短放置在载板上的待沉积基片暴露在空气中的时间，使各腔室的衔接节拍获得调整，提升设备整体产能。
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公开(公告)号：CN220863838U
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202322643248.7
申请日：2023-09-28
申请人： 福建金石能源有限公司
IPC分类号： B25B11/02
摘要： 本实用新型提供一种磁控溅射旋转靶材磁条磁棒装配工装，其特征在于：包括固定支架、模组支架、气缸夹具装置和推杆导向压紧装置；固定支架包第一型材机架、第一底板、第二底板、导磁板或方管及固定压板；模组支架包括第二型材机架、第三底板、kk86模组及推杆；气缸夹具装置包括第一气缸、气缸安装板、上夹具、下夹具、安装座、气缸连接座和夹具支撑块；推杆导向压紧装置包括第二气缸、气缸支架板、气缸支架座、压块板和推杆导向座；该结构新颖合理，安装方便，能够提高装配效率，增加磁棒装配成功率，避免人工装配产生的事故，消除人为产生的失误，提升良品率，降低返工机率与人工成本。
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公开(公告)号：CN220034651U
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202222945501.X
申请日：2022-11-02
申请人： 福建金石能源有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50 , C23C16/44
摘要： 本实用新型提供一种用于pecvd设备的喷淋装置，所述pecvd设备包括壳体和腔体，所述腔体内设有下电极和基材，所述基材设于所述下电极上方；所述腔体外设有远程等离子源，还包括喷淋装置，所述喷淋装置包括气体连接部、气体供应组件和若干层匀气板；所述气体供应组件还设有布气板；所述气体连接部一端与所述远程等离子源相连接，另一端与所述气体供应组件相连接；所述匀气板置于所述气体连接部内；该结构新颖合理，远程等离子体进入气体连接部后，穿过多层匀气板，经过层层匀气，从而达到降低远程等离子体温度的效果，从而防止因远程等离子温度过高造成布气板的热变形，实用性强。
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公开(公告)号：CN218470950U
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202222665432.7
申请日：2022-10-11
申请人： 福建金石能源有限公司
IPC分类号： G01R33/02
摘要： 本实用新型公开了一种磁控溅射靶材的磁场强度检测与调节装置，包括平台、移动装置、U1轴旋转模组、U2轴旋转模组和检测装置，所述移动装置的两根X方向导轨通过螺丝平行固定在平台上，两根X方向导轨上方设置有X轴滑块和X轴驱动模块，所述U1轴旋转模组、U2轴旋转模组与X方向导轨平行设置，并通过螺丝分别安装在平台上，所述X轴滑块上固定连接与X方向导轨垂直的Z轴模组，所述Z轴模组上设置有Z轴滑块，所述Z轴滑块上固定连接与Z轴模组垂直的Y轴模组，所述Y轴模组上设置有Y轴滑块，所述检测装置与Y轴模组垂直且固定连接在Y轴滑块上。本实用新型满足检测磁棒和靶材两种需求，更全面检测出磁场强度和均匀性，更有效分析数据。
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