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公开(公告)号：CN110631502A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201911015305.9
申请日：2019-10-24
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构安装在设备底座上，校正平台上表面对应每个靶材顶出油缸分别开设一用于靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；主油缸的侧面和校正平台的下方分别安装一靶材翘曲度激光测量仪。本发明不仅结构简单、靶材翘曲度校正与测量效率高、安全性强，而且实现了靶材翘曲度的高精度自动校正与检测，实用性强。
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公开(公告)号：CN110284111B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201910687597.4
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种金属靶材的制备系统，包括：中控台、冷水机组、真空室以及设置在真空室内的工作台、旋转机构、背管、移动机构、送料器和电子枪；工作台两端设置有旋转机构，旋转机构用于安装并固定背管的端部，中控台控制旋转机构带动背管沿圆周方向旋转；移动机构安装在背管的上方或一侧，且沿背管轴向方向来回移动，移动机构上设置有送料器和电子枪，中控台控制移动机构的运动；中控台控制电子枪发射电子束，电子束朝向背管表面；中控台控制送料器给背管表面进行送料；冷水机组通过连接管与背管连通；中控台利用冷水机组向背管内提供循环冷却水。本发明通过上述系统能够制备高纯度、高密度及晶粒均匀的金属靶材。
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公开(公告)号：CN110257785B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201910688136.9
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种旋转金属靶材及其制备方法和装置，属于靶材制备领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：在真空条件下，对金属管材进行高能电子束区域重熔处理后进行冷却，得到旋转金属靶材。本发明利用高能电子束对金属管材进行区域重熔，同时结合冷却处理，使旋转金属靶材具有高纯度，靶材内部无杂质，旋转金属靶材的晶粒尺寸细化。且提供的制备方法工艺简单，工艺过程易控制，加工设备便宜，成本低。
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公开(公告)号：CN110284111A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910687597.4
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种金属靶材的制备系统，包括：中控台、冷水机组、真空室以及设置在真空室内的工作台、旋转机构、背管、移动机构、送料器和电子枪；工作台两端设置有旋转机构，旋转机构用于安装并固定背管的端部，中控台控制旋转机构带动背管沿圆周方向旋转；移动机构安装在背管的上方或一侧，且沿背管轴向方向来回移动，移动机构上设置有送料器和电子枪，中控台控制移动机构的运动；中控台控制电子枪发射电子束，电子束朝向背管表面；中控台控制送料器给背管表面进行送料；冷水机组通过连接管与背管连通；中控台利用冷水机组向背管内提供循环冷却水。本发明通过上述系统能够制备高纯度、高密度及晶粒均匀的金属靶材。
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公开(公告)号：CN110257785A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910688136.9
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种旋转金属靶材及其制备方法和装置，属于靶材制备领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：在真空条件下，对金属管材进行高能电子束区域重熔处理后进行冷却，得到旋转金属靶材。本发明利用高能电子束对金属管材进行区域重熔，同时结合冷却处理，使旋转金属靶材具有高纯度，靶材内部无杂质，旋转金属靶材的晶粒尺寸细化。且提供的制备方法工艺简单，工艺过程易控制，加工设备便宜，成本低。
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公开(公告)号：CN210464388U
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201921815359.9
申请日：2019-10-24
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构安装在设备底座上，校正平台上表面对应每个靶材顶出油缸分别开设一用于靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；主油缸的侧面和校正平台的下方分别安装一靶材翘曲度激光测量仪。本实用新型不仅结构简单、靶材翘曲度校正与测量效率高、安全性强，而且实现了靶材翘曲度的高精度自动校正与检测，实用性强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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