公开(公告)号：CN110631502A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201911015305.9

申请日：2019-10-24

申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司

发明人： 黄祖杰 ,  陈钦忠 ,  陈锦烨

IPC分类号： G01B11/16 ,  C23C14/34

摘要： 本发明公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构安装在设备底座上，校正平台上表面对应每个靶材顶出油缸分别开设一用于靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；主油缸的侧面和校正平台的下方分别安装一靶材翘曲度激光测量仪。本发明不仅结构简单、靶材翘曲度校正与测量效率高、安全性强，而且实现了靶材翘曲度的高精度自动校正与检测，实用性强。

公开(公告)号：CN210464388U

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201921815359.9

申请日：2019-10-24

申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司

发明人： 黄祖杰 ,  陈钦忠 ,  陈锦烨

IPC分类号： G01B11/16 ,  C23C14/34

摘要： 本实用新型公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构安装在设备底座上，校正平台上表面对应每个靶材顶出油缸分别开设一用于靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；主油缸的侧面和校正平台的下方分别安装一靶材翘曲度激光测量仪。本实用新型不仅结构简单、靶材翘曲度校正与测量效率高、安全性强，而且实现了靶材翘曲度的高精度自动校正与检测，实用性强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利