公开(公告)号：CN104903705A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201380069795.5

申请日：2013-11-25

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 安德鲁·W·希尔 ,  阿姆农·玛纳森 ,  巴拉克·布林戈尔茨 ,  欧哈德·巴沙尔 ,  马克·吉诺乌克 ,  泽夫·博姆索恩 ,  丹尼尔·坎德尔

IPC: G01N21/47 ,  H01L21/66

CPC classification number: G02B27/58 ,  G01B11/00 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: 本发明涉及用于光瞳成像散射测量的各种变迹方案。在一些实施例中，系统包含安置于照明路径的光瞳平面内的变迹器。在一些实施例中，所述系统进一步包含经配置以用变迹照明的至少一部分来扫描样本的表面的照明扫描仪。在一些实施例中，所述系统包含经配置以提供四极照明功能的变迹光瞳。在一些实施例中，所述系统进一步包含变迹收集场光阑。本文中描述的各种实施例可经组合以实现某些优点。

公开(公告)号：CN104903705B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201380069795.5

申请日：2013-11-25

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 安德鲁·W·希尔 ,  阿姆农·玛纳森 ,  巴拉克·布林戈尔茨 ,  欧哈德·巴沙尔 ,  马克·吉诺乌克 ,  泽夫·博姆索恩 ,  丹尼尔·坎德尔

IPC: G01N21/47 ,  H01L21/66

CPC classification number: G02B27/58 ,  G01B11/00 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: 本发明涉及用于光瞳成像散射测量的各种变迹方案。在一些实施例中，系统包含安置于照明路径的光瞳平面内的变迹器。在一些实施例中，所述系统进一步包含经配置以用变迹照明的至少一部分来扫描样本的表面的照明扫描仪。在一些实施例中，所述系统包含经配置以提供四极照明功能的变迹光瞳。在一些实施例中，所述系统进一步包含变迹收集场光阑。本文中描述的各种实施例可经组合以实现某些优点。

公开(公告)号：CN108762006A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810555453.9

申请日：2013-11-25

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 安德鲁·W·希尔 ,  阿姆农·玛纳森 ,  巴拉克·布林戈尔茨 ,  欧哈德·巴沙尔 ,  马克·吉诺乌克 ,  泽夫·博姆索恩 ,  丹尼尔·坎德尔

IPC: G03F7/20 ,  G01N21/55 ,  G01N21/47 ,  G01B11/00

CPC classification number: G02B27/58 ,  G01B11/00 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: 本发明涉及用于光瞳成像散射测量的变迹法。在一些实施例中，系统包含安置于照明路径的光瞳平面内的变迹器。在一些实施例中，所述系统进一步包含经配置以用变迹照明的至少一部分来扫描样本的表面的照明扫描仪。在一些实施例中，所述系统包含经配置以提供四极照明功能的变迹光瞳。在一些实施例中，所述系统进一步包含变迹收集场光阑。本文中描述的各种实施例可经组合以实现某些优点。