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公开(公告)号：CN104272184A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023561.7
申请日：2013-03-08
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： G06T7/001 , G01N2021/95676 , G03F1/84 , G06T7/13 , G06T7/174 , G06T2207/10016 , G06T2207/10152 , G06T2207/20044 , G06T2207/20161 , G06T2207/20221 , G06T2207/30148
摘要： 本发明揭示一种用于基于点图像的细线检测的检测方法。所述方法包含用于从掩模的经透射光学图像及经反射光学图像产生带限点图像的步骤。校准所述点图像以最小化来自所述点图像的多个光学像差。将所述点图像还原回到掩模图像以允许以下各项中的至少一者：所述掩模图像上的细线区与非细线区之间的较可靠分割，或用于促进分割的较准确线宽度测量。在所述经还原掩模图像上区分细线特征与非细线特征。生长含有细线特征的区，同时防止所述细线生长入侵所述非细线特征。
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公开(公告)号：CN104272185A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023868.7
申请日：2013-03-08
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G03F1/84
CPC分类号： G06T7/0002 , G01N21/95607 , G01N2021/95676 , G03F1/84 , G06T7/001 , G06T2207/30148
摘要： 本发明揭示用于检验光学光刻光罩的方法及设备。从光罩检验系统接收缺陷数据流，其中所述缺陷数据识别针对所述光罩的多个不同部分所检测的多个缺陷。在检视所述缺陷数据以确定所述光罩是否通过检验之前且在继续接收所述缺陷数据流时，将所述缺陷中的一些缺陷与其它最近一或多个所接收缺陷自动分组在一起以便形成实质上匹配缺陷的群组。在检视所述缺陷数据以确定所述光罩是否通过检验之前且在接收到所述光罩的所有所述缺陷数据之后，从所述缺陷数据自动过滤所述缺陷群组中的具有高于预定阈值的数目的一或多个缺陷群组以便形成经过滤缺陷数据。接着，可将所述经过滤缺陷数据提供到检视站以确定所述光罩是否合格。
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公开(公告)号：CN104272184B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201380023561.7
申请日：2013-03-08
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： G06T7/001 , G01N2021/95676 , G03F1/84 , G06T7/13 , G06T7/174 , G06T2207/10016 , G06T2207/10152 , G06T2207/20044 , G06T2207/20161 , G06T2207/20221 , G06T2207/30148
摘要： 本发明揭示一种用于基于点图像的细线检测的检测方法。所述方法包含用于从掩模的经透射光学图像及经反射光学图像产生带限点图像的步骤。校准所述点图像以最小化来自所述点图像的多个光学像差。将所述点图像还原回到掩模图像以允许以下各项中的至少一者：所述掩模图像上的细线区与非细线区之间的较可靠分割，或用于促进分割的较准确线宽度测量。在所述经还原掩模图像上区分细线特征与非细线特征。生长含有细线特征的区，同时防止所述细线生长入侵所述非细线特征。
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公开(公告)号：CN104272185B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201380023868.7
申请日：2013-03-08
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G03F1/84
摘要： 本发明揭示用于检验光学光刻光罩的方法及设备。从光罩检验系统接收缺陷数据流，其中所述缺陷数据识别针对所述光罩的多个不同部分所检测的多个缺陷。在检视所述缺陷数据以确定所述光罩是否通过检验之前且在继续接收所述缺陷数据流时，将所述缺陷中的一些缺陷与其它最近一或多个所接收缺陷自动分组在一起以便形成实质上匹配缺陷的群组。在检视所述缺陷数据以确定所述光罩是否通过检验之前且在接收到所述光罩的所有所述缺陷数据之后，从所述缺陷数据自动过滤所述缺陷群组中的具有高于预定阈值的数目的一或多个缺陷群组以便形成经过滤缺陷数据。接着，可将所述经过滤缺陷数据提供到检视站以确定所述光罩是否合格。
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