公开(公告)号：CN112088417A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201980030536.9

申请日：2019-05-24

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： F·希尔 ,  G·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  G·洛佩兹 ,  M·罗梅洛 ,  K·艾奥凯密迪 ,  Z·马克斯

IPC: H01J1/304

Abstract: 一种具有100nm或更小的直径的发射器与保护罩盖层及在所述发射器与所述保护罩盖层之间的扩散势垒一起使用。所述保护罩盖层安置在所述发射器的外表面上。所述保护罩盖层包含钼或铱。所述发射器可生成电子束。可对所述发射器进行脉冲控制。

公开(公告)号：CN111801765B

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN201980016727.X

申请日：2019-03-19

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： G·德尔加多 ,  K·艾奥凯密迪 ,  F·希尔 ,  R·加西亚 ,  M·罗梅洛 ,  Z·马克斯 ,  G·洛佩兹

IPC: H01J37/073

Abstract: 本发明揭示一种高亮度电子束源。所述电子束源可包含经配置以产生宽带照明的宽带照明源。可调谐光谱滤波器可经配置以对所述宽带照明进行滤波以提供具有激发光谱的经滤波照明。所述电子束源可进一步包含经配置以响应于所述经滤波照明发射一或多个电子束的光电阴极，其中来自所述光电阴极的发射可基于来自所述可调谐光谱滤波器的所述经滤波照明的所述激发光谱而调整。

公开(公告)号：CN111684563A

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201980011542.X

申请日：2019-02-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： G·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  K·艾奥凯密迪 ,  Z·马克斯 ,  G·洛佩兹 ,  F·希尔 ,  M·罗梅洛

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/063

Abstract: 所述系统包含光电阴极电子源、衍射光学元件及用以聚焦小光束的微透镜阵列。源将辐射光束引导到所述衍射光学元件，所述衍射光学元件产生小光束阵列以与光电阴极表面结合使用以从所述小光束产生电子束阵列。

公开(公告)号：CN111684563B

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN201980011542.X

申请日：2019-02-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： G·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  K·艾奥凯密迪 ,  Z·马克斯 ,  G·洛佩兹 ,  F·希尔 ,  M·罗梅洛

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/063

Abstract: 所述系统包含光电阴极电子源、衍射光学元件及用以聚焦小光束的微透镜阵列。源将辐射光束引导到所述衍射光学元件，所述衍射光学元件产生小光束阵列以与光电阴极表面结合使用以从所述小光束产生电子束阵列。

公开(公告)号：CN111801765A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201980016727.X

申请日：2019-03-19

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： G·德尔加多 ,  K·艾奥凯密迪 ,  F·希尔 ,  R·加西亚 ,  M·罗梅洛 ,  Z·马克斯 ,  G·洛佩兹

IPC: H01J37/073

Abstract: 本发明揭示一种高亮度电子束源。所述电子束源可包含经配置以产生宽带照明的宽带照明源。可调谐光谱滤波器可经配置以对所述宽带照明进行滤波以提供具有激发光谱的经滤波照明。所述电子束源可进一步包含经配置以响应于所述经滤波照明发射一或多个电子束的光电阴极，其中来自所述光电阴极的发射可基于来自所述可调谐光谱滤波器的所述经滤波照明的所述激发光谱而调整。