薄膜晶体管和用于制造薄膜晶体管的方法

    公开(公告)号:CN101867017B

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201010150255.8

    申请日:2010-04-12

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: H01L51/102 H01L51/0023 H01L51/0545

    Abstract: 本发明提供了薄膜晶体管和用于制造薄膜晶体管的方法。用于制造薄膜晶体管的方法包括以下步骤:利用栅极绝缘膜覆盖被图案化在衬底上的栅极电极;在栅极绝缘膜上按顺序形成有机半导体层和电极膜;以及在设置有有机半导体层和电极膜的衬底上形成负型光刻胶膜,并且,通过将栅极电极用作遮光掩模从衬底一侧进行背表面曝光,并进行随后的显影处理,来形成抗蚀剂图案,所述抗蚀剂图案用作通过刻蚀电极膜来形成源极-漏极所用的掩模。

    薄膜晶体管和用于制造薄膜晶体管的方法

    公开(公告)号:CN101867017A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN201010150255.8

    申请日:2010-04-12

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: H01L51/102 H01L51/0023 H01L51/0545

    Abstract: 本发明提供了薄膜晶体管和用于制造薄膜晶体管的方法。用于制造薄膜晶体管的方法包括以下步骤:利用栅极绝缘膜覆盖被图案化在衬底上的栅极电极;在栅极绝缘膜上按顺序形成有机半导体层和电极膜;以及在设置有有机半导体层和电极膜的衬底上形成负型光刻胶膜,并且,通过将栅极电极用作遮光掩模从衬底一侧进行背表面曝光,并进行随后的显影处理,来形成抗蚀剂图案,所述抗蚀剂图案用作通过刻蚀电极膜来形成源极-漏极所用的掩模。

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