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公开(公告)号：CN115963133A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211686334.X
申请日：2022-12-27
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： G01N23/2206 , G01N23/2254 , G01N23/203 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/06 , H01J37/10
摘要： 本发明涉及一种光电探测器，属于光电探测器技术领域，能够实现阴极荧光信号与电子信号同时探测，且极大提高荧光信号的收集效率；该光电探测器包括电子源、加速电极、物镜、反射光栅、CL荧光探测器和BSE探测器；所述电子源设置在顶部正中产生电子束；所述加速电极设置在电子源下方；所述物镜设于加速电极的下方；所述BSE探测器设置在物镜的下方；待扫描的样品设置在最底部；所述加速电极、所述物镜和所述BSE探测器同轴设置，电子束依次穿过三者后照射在样品的表面；所述BSE探测器接收经样品反射的背散射电子；所述反射光栅和所述CL荧光探测器均设置在BSE探测器的外围，并将经样品上表面传来的光子反射到CL荧光探测器上。
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公开(公告)号：CN116072494A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310060494.1
申请日：2023-01-18
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/147
摘要： 本发明涉及一种双内置复合结构的探测系统，属于电子显微镜技术领域，能够有效地将电子探测、EDS探测、荧光探测结合，可以达到对样品同一位置的多探测器同时探测的效果，并且高效收集信号，得到高质量图像信息；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、直接电子探测器、样品、样品台和控制单元；所述EDS探测器和所述直接电子探测器均以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器和所述直接电子探测器的探头均靠近物镜的探测口处；所述样品台、所述EDS探测器、所述直接电子探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接；物镜的内部极靴上设有打拿级，物镜探测口的内外两环壁的底端均设有反射锥。
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公开(公告)号：CN116313711A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310060452.8
申请日：2023-01-18
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/2251
摘要： 本发明涉及一种复合结构的探测系统及探测方法，属于电子显微镜技术领域，把EDS探测器置入物镜内部，在提高空间利用率的同时使EDS更靠近极靴头和样品表面，提高探测效率；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元；所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于电子源下方，所述物镜设于电子加速电极下方，所述样品设于物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电子加速电极和物镜后到达样品表面；所述EDS探测器以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器的探头位于物镜的探测口处；所述样品置于样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接。
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公开(公告)号：CN116183963A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310314339.8
申请日：2023-03-28
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： G01Q30/02
摘要： 本发明涉及一种自动聚焦检测系统及方法，属于电子扫描技术领域，能够测定样品与物镜之间的距离，实现自动对焦，不仅提高检测效率，而且避免了人为操作导致的微小误差；该系统包括用于产生激光束的电子源、电子加速电极、物镜、测距单元、PC端、运动控制单元和样品台；电子源、电子加速电极、物镜和样品台从上到下依次设置；运动控制单元设于样品台下方，并与样品台连接；测距单元固设在物镜下部；测距单元和运动控制单元与PC端连接；测距单元包括点光谱发射端、点光谱接收端和光谱分析仪；点光谱发射端、待检测样品上表面和点光谱接收端依次光连接；点光谱接收端、光谱分析仪和PC端依次连接。
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公开(公告)号：CN115950906A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211685626.1
申请日：2022-12-27
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： G01N23/20008 , G01N23/20025 , G01N23/203 , G01N23/20091 , G01N23/22 , G01N23/2206 , G01N23/223 , G01N23/2254
摘要： 本发明涉及一种探测系统，属于扫描电子显微镜技术领域，能够解决当前EBSD测试时必须样品台旋转、硬件限制所导致的测试角度受限、样品容易掉落、容易碰撞的问题；该系统包括第一物镜、第二物镜、EBSD探测器、样品台和PC端；第一物镜设于样品台正上方，第二物镜设于样品台斜上方；第一物镜和第二物镜的电子束会聚在样品表面的同一位置；EBSD探测器设于样品台的斜上方、第二物镜的对侧，并与PC端连接；第一物镜的电子束在样品表面的入射角度为90゜；第二物镜的电子束在样品表面的入射角度为5゜‑20゜；所述系统还包括EDS探测器，EDS探测器设于第一物镜的侧边，并与PC端连接。
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公开(公告)号：CN219285073U
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202223536046.4
申请日：2022-12-27
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： G01N23/2206 , G01N23/2254 , G01N23/203 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/06 , H01J37/10
摘要： 本实用新型涉及一种光电探测器，属于光电探测器技术领域，能够实现阴极荧光信号与电子信号同时探测，且极大提高荧光信号的收集效率；该光电探测器包括电子源、加速电极、物镜、反射光栅、CL荧光探测器和BSE探测器；所述电子源设置在顶部正中产生电子束；所述加速电极设置在电子源下方；所述物镜设于加速电极的下方；所述BSE探测器设置在物镜的下方；待扫描的样品设置在最底部；所述加速电极、所述物镜和所述BSE探测器同轴设置，电子束依次穿过三者后照射在样品的表面；所述BSE探测器接收经样品反射的背散射电子；所述反射光栅和所述CL荧光探测器均设置在BSE探测器的外围，并将经样品上表面传来的光子反射到CL荧光探测器上。
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公开(公告)号：CN219226219U
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202320113375.3
申请日：2023-01-18
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/147
摘要： 本实用新型涉及一种双内置复合结构的探测系统，属于电子显微镜技术领域，能够有效地将电子探测、EDS探测、荧光探测结合，可以达到对样品同一位置的多探测器同时探测的效果，并且高效收集信号，得到高质量图像信息；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、直接电子探测器、样品、样品台和控制单元；所述EDS探测器和所述直接电子探测器均以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器和所述直接电子探测器的探头均靠近物镜的探测口处；所述样品台、所述EDS探测器、所述直接电子探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接；物镜的内部极靴上设有打拿级，物镜探测口的内外两环壁的底端均设有反射锥。
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公开(公告)号：CN219997114U
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202320641699.4
申请日：2023-03-28
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： G01Q30/02
摘要： 本实用新型涉及一种自动聚焦检测系统，属于电子扫描技术领域，能够测定样品与物镜之间的距离，实现自动对焦，不仅提高检测效率，而且避免了人为操作导致的微小误差；该系统包括用于产生激光束的电子源、电子加速电极、物镜、测距单元、PC端、运动控制单元和样品台；电子源、电子加速电极、物镜和样品台从上到下依次设置；运动控制单元设于样品台下方，并与样品台连接；测距单元固设在物镜下部；测距单元和运动控制单元与PC端连接；测距单元包括点光谱发射端、点光谱接收端和光谱分析仪；点光谱发射端、待检测样品上表面和点光谱接收端依次光连接；点光谱接收端、光谱分析仪和PC端依次连接。
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公开(公告)号：CN219226218U
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202320113217.8
申请日：2023-01-18
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/2251
摘要： 本实用新型涉及一种复合结构的探测系统，属于电子显微镜技术领域，把EDS探测器置入物镜内部，在提高空间利用率的同时使EDS更靠近极靴头和样品表面，提高探测效率；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元；所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于电子源下方，所述物镜设于电子加速电极下方，所述样品设于物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电子加速电极和物镜后到达样品表面；所述EDS探测器以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器的探头位于物镜的探测口处；所述样品置于样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接。
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公开(公告)号：CN219350145U
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202222882857.3
申请日：2022-10-31
申请人： 纳克微束(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/141 , H01J37/21
摘要： 本实用新型涉及一种电子束发生装置及含有电子束发生装置的电子显微镜。该电子束发生装置包括：屏蔽外壳、阴极发射单元、光阑组、导电固定筒、陶瓷盘、调节单元、第一光阑和真空高压馈通。本实新型具有结构简单，使用方便，光阑+电透镜的组合双倍聚焦，且减少电子束杂散；通过调节单元可以使光阑对中更加准确，解决后期对中不准确带来的光斑不圆；整体更加方便可调节，解决机械加工以及装配过程中带来的误差；光阑属于耗材需要不定期更换，调节螺钉的结构使得方便光阑后期更换；光阑组结构可以减少杂散电子；第三光阑过滤有害而无用的光也加以阻拦，能改善像质量。
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