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公开(公告)号:CN107406970A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201680017703.2
申请日:2016-03-17
申请人: 纽升股份有限公司
发明人: B·D·赫克特曼 , K·R·B·波特 , A·A·奎图瓜-弗洛里斯 , A·C·沃尔
CPC分类号: C23C14/243 , C23C14/0623 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C14/542 , C23C14/562 , C23C14/566 , H01L31/02167 , H01L31/03923
摘要: 用于沉积预定量的材料到衬底上的实例设备包括具有被配置成容纳材料的腔体的容器。容器和腔体沿着容器的第一轴伸长。设备另外包括一个或多个加热器,其(i)沿着第一轴伸长并且(ii)被配置成通过加热容器加热和蒸发材料。设备另外包括输送机,用于朝着基本上垂直于容器的第一轴和容器中沿着第一轴分布的一个或多个开口的方向移动衬底。一个或多个开口提供容器外部区域与腔体之间的流体连通。本文还公开了用于沉积预定量的材料到衬底上的方法。