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公开(公告)号：CN101090998B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN200580030594.X
申请日：2005-07-29
申请人： 维高仪器股份有限公司
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574
摘要： 一种用于化学气相沉积反应器(100)的气体分配喷射器(150)具有面向下游朝向基底(135)设置在一内表面(155)上的间隔开的部位处的前驱气体入口(160、165)，并具有设置在前驱气体入口(160、165)之间的载体开口(167)。一个或多个前驱气体(180、185)通过前驱气体入口(160、165)引入，而一基本上与前驱气体不反应的载体气体(187)通过载体气体开口(167)引入。载体气体将形成在喷射器(150)上的沉积物减到最少。载体气体开口可由形成表面的多孔板(230)或通过散布在前驱入口之间的载体入口(167)提供。气体入口可以是可移去的(1780)或同轴的(1360)。
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公开(公告)号：CN102154628B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110127968.7
申请日：2005-07-29
申请人： 维高仪器股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574
摘要： 一种用于化学气相沉积反应器(100)的气体分配喷射器(150)具有面向下游朝向基底(135)设置在一内表面(155)上的间隔开的部位处的前驱气体入口(160、165)，并具有设置在前驱气体入口(160、165)之间的载体开口(167)。一个或多个前驱气体(180、185)通过前驱气体入口(160、165)引入，而一基本上与前驱气体不反应的载体气体(187)通过载体气体开口(167)引入。载体气体将形成在喷射器(150)上的沉积物减到最少。载体气体开口可由形成表面的多孔板(230)或通过散布在前驱入口之间的载体入口(167)提供。气体入口可以是可移去的(1780)或同轴的(1360)。
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公开(公告)号：CN102154628A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110127968.7
申请日：2005-07-29
申请人： 维高仪器股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574
摘要： 一种用于化学气相沉积反应器(100)的气体分配喷射器(150)具有面向下游朝向基底(135)设置在一内表面(155)上的间隔开的部位处的前驱气体入口(160、165)，并具有设置在前驱气体入口(160、165)之间的载体开口(167)。一个或多个前驱气体(180、185)通过前驱气体入口(160、165)引入，而一基本上与前驱气体不反应的载体气体(187)通过载体气体开口(167)引入。载体气体将形成在喷射器(150)上的沉积物减到最少。载体气体开口可由形成表面的多孔板(230)或通过散布在前驱入口之间的载体入口(167)提供。气体入口可以是可移去的(1780)或同轴的(1360)。
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公开(公告)号：CN101090998A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200580030594.X
申请日：2005-07-29
申请人： 维高仪器股份有限公司
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574
摘要： 一种用于化学气相沉积反应器(100)的气体分配喷射器(150)具有面向下游朝向基底(135)设置在一内表面(155)上的间隔开的部位处的前驱气体入口(160、165)，并具有设置在前驱气体入口(160、165)之间的载体开口(167)。一个或多个前驱气体(180、185)通过前驱气体入口(160、165)引入，而一基本上与前驱气体不反应的载体气体(187)通过载体气体开口(167)引入。载体气体将形成在喷射器(150)上的沉积物减到最少。载体气体开口可由形成表面的多孔板(230)或通过散布在前驱入口之间的载体入口(167)提供。气体入口可以是可移去的(1780)或同轴的(1360)。
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