公开(公告)号：CN101568840B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200780048385.7

申请日：2007-11-14

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  A·弗兰克 ,  D·舒伯特 ,  K·克尔 ,  R·赖兴巴赫

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084

Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。

公开(公告)号：CN101568840A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200780048385.7

申请日：2007-11-14

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  A·弗兰克 ,  D·舒伯特 ,  K·克尔 ,  R·赖兴巴赫

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084

Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。

公开(公告)号：CN101443665A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200780017616.8

申请日：2007-04-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： D·舒伯特 ,  J·克拉森 ,  L·泰布杰 ,  J·泽尔霍斯特

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，具有一振动质量(1)及一基底(13)，该振动质量具有一个第一翼及第二翼(2，3)，这些翼可绕至少一个扭转桥接件(4)转动，其中，这些翼(2，3)的构造使得基于这些翼的质量分布在所述至少一个扭转桥接件(4)上施加不同的转矩。所述振动质量(1)及基底(13)的构造使得对于一扭转及对于在相反方向上的一量值上相等的扭转在所述至少一个扭转桥接件(4)上引起量值上相等的阻尼转矩。

公开(公告)号：CN102449488A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201080022900.6

申请日：2010-01-20

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： S·利宾 ,  D·舒伯特 ,  W·菲尔斯特 ,  S·鲁兰德尔

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 提出一种微机械结构、尤其是加速度传感器，包括衬底、相对于该衬底可运动的感振质量和至少一个固定地与该衬底连接的锚定元件，其中，感振质量借助锚定元件固定在衬底上并且在感振质量与锚定元件之间设有至少一个弹簧元件，并且锚定元件此外具有至少一个止挡元件用以与感振质量的至少一个配对止挡元件配合作用。

公开(公告)号：CN101443665B

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200780017616.8

申请日：2007-04-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： D·舒伯特 ,  J·克拉森 ,  L·泰布杰 ,  J·泽尔霍斯特

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，具有一振动质量(1)及一基底(13)，该振动质量具有一个第一翼及第二翼(2，3)，这些翼可绕至少一个扭转桥接件(4)转动，其中，这些翼(2，3)的构造使得基于这些翼的质量分布在所述至少一个扭转桥接件(4)上施加不同的转矩。所述振动质量(1)及基底(13)的构造使得对于一扭转及对于在相反方向上的一量值上相等的扭转在所述至少一个扭转桥接件(4)上引起量值上相等的阻尼转矩。