专利检索 ap:("罗伯特·博世有限公司") AND inv:"M·格拉斯" 第 1 页

1.

发明公开
用于补偿加速度的膜传感器和用于产生经补偿的传感器信号的方法审中-公开

公开(公告)号：CN118896721A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202410510055.0

申请日：2024-04-26

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： J·克拉森 , A·朔伊尔勒 , M·格拉斯

IPC分类号： G01L19/02 , G01L19/00

摘要： 本发明涉及一种膜传感器(500)，其包括：压力传感器(180)，该压力传感器构造用于，根据能以压力加载的膜(140)的偏转产生第一传感器信号(1100)；加速度传感器(200)，该加速度传感器构造用于，根据作用到MEMS功能结构(290)上的加速度产生第二传感器信号(1200)；和评估电路(600)，所述评估电路构造用于，根据第二传感器信号(1200)补偿第一传感器信号(110)与作用到所述膜(140)上的加速力(尤其是重力)的相关性。所述压力传感器(180)和所述加速度传感器(200)在z方向(1000)上上下堆叠。本发明还涉及一种用于借助于这类膜传感器(500)产生经补偿的传感器信号(1300)的方法。