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公开(公告)号：CN101868692A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN200880116117.9
申请日：2008-10-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种偏航率传感器，具有衬底和多个可运动的部分结构，所述可运动的部分结构设置在所述衬底的表面上方，其中，所述可运动的部分结构与一个共同的、尤其是中央弹簧元件耦合，设有用于激励所述可运动的部分结构在与所述衬底的表面平行的平面中作耦合的振动的器件，所述可运动的部分结构具有科氏元件，设有用于验证所述科氏元件的由科氏力引起的偏移的器件，设有用于检测绕第一轴的偏航率的第一科氏元件，设有用于检测绕第二轴的偏航率的第二科氏元件，所述第二轴与所述第一轴垂直地定向。
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公开(公告)号：CN110998234A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051392.0
申请日：2018-07-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5783 , G01C19/5733
Abstract: 本发明要求保护一种转速传感器，该转速传感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿垂直于所述主延伸平面(110、120)的延伸方向(200)布置在所述衬底和所述第二功能层(2)之间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第二主延伸方向(120)的延展尺度。
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公开(公告)号：CN115135960B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202180015611.1
申请日：2021-01-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56 , G01C19/5712
Abstract: 本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。
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公开(公告)号：CN111316062B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201880071749.1
申请日：2018-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明请求保护一种转速传感器(1)，该转速传感器带着具有主延伸平面(100、200)的衬底，其中，所述转速传感器(1)包括旋转元件组件(10、20)，其中，所述旋转元件组件(10、20)构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，其特征在于，所述转速传感器(1)具有传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动。
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公开(公告)号：CN111183112A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201880062686.3
申请日：2018-09-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B3/00 , G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110998232B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201880051117.9
申请日：2018-07-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/574 , G01C19/5747
Abstract: 向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有 述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和 旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量 中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此 述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振 二力。动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)
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公开(公告)号：CN115135960A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180015611.1
申请日：2021-01-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56 , G01C19/5712
Abstract: 本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。
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公开(公告)号：CN110998232A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051117.9
申请日：2018-07-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/574 , G01C19/5747
Abstract: 本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)在驱动运动方向上能沿着垂直于所述X方向(101)并且垂直于所述Z方向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第二力。
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公开(公告)号：CN111051815B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201880057522.1
申请日：2018-08-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置F12)连接。(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、
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公开(公告)号：CN110998234B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201880051392.0
申请日：2018-07-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5783 , G01C19/5733
Abstract: 间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一本发明要求保护一种转速传感器，该转速传 主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面 沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振 二主延伸方向(120)的延展尺度。动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质
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