公开(公告)号：CN105623320A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201410625314.0

申请日：2014-11-07

申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司

发明人： D·王 ,  P·特雷福纳斯三世 ,  K·M·奥康奈利

IPC分类号： C09D1/00 ,  C09D5/00 ,  C01F7/02 ,  H01L51/54 ,  H01L51/56 ,  H01L51/46 ,  H01L51/48

CPC分类号： Y02E10/549

摘要： 使用有机铝涂料组合物在各种基材上沉积膜，随后将所述膜固化以形成用于多种制备应用的氧化物膜，特别是用于可以使用气体阻挡层的情况。

公开(公告)号：CN105623320B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201410625314.0

申请日：2014-11-07

申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司

发明人： D·王 ,  P·特雷福纳斯三世 ,  K·M·奥康奈利

IPC分类号： C09D1/00 ,  C09D5/00 ,  C01F7/02 ,  H01L51/54 ,  H01L51/56 ,  H01L51/46 ,  H01L51/48

CPC分类号： Y02E10/549

摘要： 使用有机铝涂料组合物在各种基材上沉积膜，随后将所述膜固化以形成用于多种制备应用的氧化物膜，特别是用于可以使用气体阻挡层的情况。