公开(公告)号：CN107957926A

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201710085777.6

申请日：2017-02-17

申请人： 美光科技公司

发明人： 薛悦诚 ,  刘育玮 ,  李良伦 ,  林祖强 ,  陈淳钰 ,  刘家宏

IPC分类号： G06F11/30 ,  G05B23/02

CPC分类号： G05B23/0272 ,  G05B19/048 ,  G05B2219/32222 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/3006 ,  G05B23/024 ,  G06F11/3055 ,  G06F11/3065

摘要： 本发明公开了一种用于侦测错误事件的方法，其侦测方法包含下列操作。通过处理器根据多个步骤对齐第一数据与第二数据，其中第一数据与第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；通过处理器根据第一数据决定第一虚拟区域；通过处理器根据第二数据决定第二虚拟区域；以及通过显示器显示第一虚拟区域与第二虚拟区域的比较结果，以分辨是否有错误事件存在于制造工艺中。本发明所提供的方法可改善同时侦测大量设备错误事件的效率。