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公开(公告)号：CN106676484A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510762127.1
申请日：2015-11-10
申请人： 航天长征睿特科技有限公司 , 航天材料及工艺研究所
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： C23C14/3414
摘要： 本发明提供了一种磁控溅射镀膜用铬管靶材的绑定方法。该方法包括在铬管靶材的背管外表面采用电镀工艺制备金属涂层作为绑定层；利用热等静压工艺使铬管靶材层通过绑定层与背管达到冶金结合，实现铬管靶材的绑定。本发明所述的铬管靶材的绑定方法可以使铬管靶材层通过绑定层与背管实现冶金结合，把铬管靶材层在溅射镀膜过程中产生的热量及时传递到背管内冷却，防止铬管靶材层出现开裂，保证溅射镀膜顺利进行。
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公开(公告)号：CN106086494B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201610402544.X
申请日：2016-06-08
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
摘要： 本发明涉及一种电子封装用硅铝合金的制备方法，具体是指一种电子封装用高致密度、高热导率、低热膨胀系数的硅铝合金材料的制备方法，属于封装材料技术领域。该方法是以硅粉和铝粉为原料，原料粉末经过混合球磨预处理后装粉入包套，然后真空热除气，在热等静压机中压制成形，随后进行机械加工制成成品。本发明制备的硅铝合金具有以下优点：合金成分比例范围宽，Si含量为10～95wt％，Al为余量；致密度高，相对密度达到99.5％以上、热导率为100～180W/mK，热膨胀系数为5～15×10‑6/K，能够满足航空航天、微电子行业电子封装的要求。
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公开(公告)号：CN106086494A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610402544.X
申请日：2016-06-08
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
摘要： 本发明涉及一种电子封装用硅铝合金的制备方法，具体是指一种电子封装用高致密度、高热导率、低热膨胀系数的硅铝合金材料的制备方法，属于封装材料技术领域。该方法是以硅粉和铝粉为原料，原料粉末经过混合球磨预处理后装粉入包套，然后真空热除气，在热等静压机中压制成形，随后进行机械加工制成成品。本发明制备的硅铝合金具有以下优点：合金成分比例范围宽，Si含量为10～95wt％，Al为余量；致密度高，相对密度达到99.5％以上、热导率为100～180W/mK，热膨胀系数为5～15×10‑6/K，能够满足航空航天、微电子行业电子封装的要求。
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公开(公告)号：CN103071791B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310018789.9
申请日：2013-01-18
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
摘要： 本发明涉及一种大长径比TiAl管靶材成形方法，包括（1）组装包套模具；（2）原料Ti粉末、Al粉末装填及封焊；（3）真空热除气；（4）热等静压致密化成形；（5）去除包套模具：（6）产品精加工；本发明通过对包套模具结构进行创新设计，保证包套模具具备良好的焊接性，并实现TiAl靶材与背管的整体绑定，通过原材料粉末粒度优化选择以及真空混料，制备出成分均匀，无偏析的Ti、Al混合粉末；采用特殊的粉末装填工艺，保证管靶装粉密度及均匀度；通过优化的真空热除气及致密化成形工艺选择，保证在压制成形后TiAl管靶材的致密度及直线度。
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公开(公告)号：CN102366836B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201110328356.4
申请日：2011-10-25
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
IPC分类号： B22F5/12
摘要： 本发明提供一种高性能钛合金盲管的制造方法，其步骤：(a)在芯棒表面涂覆石墨类涂层；(b)将芯棒放置在包套筒内并通过芯棒定位工装卡在中央，芯棒底端固定在包套底盖上，包套底盖焊接在包套筒底端；然后向由包套筒与芯棒形成的空腔内添装钛合金粉末；(c)在包套筒顶部焊接包套顶盖，预留除气管道，对包套筒抽真空；(d)将包套的两端固定在包套热等静压工装内，然后进行热等静压处理；(e)取出包套，然后将包套的两端固定在液压机上，将包套内的芯棒拔出；(f)加工成钛合金盲管。本发明利用可快速去除的芯棒，形成的钛合金细长盲管内腔无需机械加工即可达到产品最终尺寸，生产周期短，成材率高，产品性能和内部质量稳定、可靠。
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公开(公告)号：CN102366836A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN201110328356.4
申请日：2011-10-25
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
IPC分类号： B22F5/12
摘要： 本发明提供一种高性能钛合金盲管的制造方法，其步骤：(a)在芯棒表面涂覆石墨类涂层；(b)将芯棒放置在包套筒内并通过芯棒定位工装卡在中央，芯棒底端固定在包套底盖上，包套底盖焊接在包套筒底端；然后向由包套筒与芯棒形成的空腔内添装钛合金粉末；(c)在包套筒顶部焊接包套顶盖，预留除气管道，对包套筒抽真空；(d)将包套的两端固定在包套热等静压工装内，然后进行热等静压处理；(e)取出包套，然后将包套的两端固定在液压机上，将包套内的芯棒拔出；(f)加工成钛合金盲管。本发明利用可快速去除的芯棒，形成的钛合金细长盲管内腔无需机械加工即可达到产品最终尺寸，生产周期短，成材率高，产品性能和内部质量稳定、可靠。
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公开(公告)号：CN103071791A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310018789.9
申请日：2013-01-18
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
摘要： 本发明涉及一种大长径比TiAl管靶材成形方法，包括（1）组装包套模具；（2）原料Ti粉末、Al粉末装填及封焊；（3）真空热除气；（4）热等静压致密化成形；（5）去除包套模具：（6）产品精加工；本发明通过对包套模具结构进行创新设计，保证包套模具具备良好的焊接性，并实现TiAl靶材与背管的整体绑定，通过原材料粉末粒度优化选择以及真空混料，制备出成分均匀，无偏析的Ti、Al混合粉末；采用特殊的粉末装填工艺，保证管靶装粉密度及均匀度；通过优化的真空热除气及致密化成形工艺选择，保证在压制成形后TiAl管靶材的致密度及直线度。
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公开(公告)号：CN118385566A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202311346097.7
申请日：2023-10-18
申请人： 航天材料及工艺研究所
摘要： 本发明提供了一种与背管整体成形的冷等静压大长径比钨管坯制备方法。该方法通过对原料钨粉末的粒度配比实现特定的粒度分布和氧含量可控；然后进行高温氢气还原退火预处理，通过合理设计的冷等静压胶套和优化的冷等静压压制工艺获得密度高、厚度均匀性好、直线度可控、与背管整体成形连接的冷等静压大长径比钨管坯。本发明钨管坯具有以下特点：1)与背管整体成形连接，管坯表面无裂纹和掉料，以背管内孔为基准加工钨管坯外表面时不出现裂纹、崩角、脱落等现象；(2)密度≥12g/cm3，相对密度≥62％；(3)厚度偏差≤0.3mm；(4)长径比≥15：1；(5)冷等静压后背管直线度≤0.2mm，钨管坯直线度≤0.6mm。
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公开(公告)号：CN117403195A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311252362.5
申请日：2023-09-26
申请人： 航天材料及工艺研究所
摘要： 本发明提供了一种细晶钛硅靶材及其制备方法。该方法是以纯Ti粉和Ti5Si3合金粉末为原料，原料粉末经过球磨混合预处理后装包套进行真空热脱气处理，将脱气后的包套进行热等静压致密化处理，最后通过热处理稳定显微组织，减小内应力。本发明制备的钛硅靶材具有以下优点：(1)钛硅靶材只包含Ti相和Ti5Si3相两种物相，没有TiSi、TiSi2等其他物相；(2)钛硅靶材显微组织细小均匀，平均晶粒尺寸＜50μm；(3)钛硅靶材密度高，相对密度＞99％；(4)Ti相和Ti5Si3相分布均匀，无偏析；(5)硅元素含量高，硅元素含量最高可以达到35at％。
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公开(公告)号：CN105734506B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610183421.1
申请日：2016-03-28
申请人： 航天材料及工艺研究所 , 中国运载火箭技术研究院
IPC分类号： C23C14/34 , C04B35/495 , C04B35/645
摘要： 本发明提供了一种溅射镀膜用热等静压氧化铌靶材的制备方法，该方法以高纯度的五氧化二铌粉末为原料，其纯度不低于99.99％，粉末经过预处理后装粉入包套，然后真空热除气，在热等静压机中压制成形，随后进行机械加工制成成品；本发明制备的氧化铌靶材具有以下优点：靶材致密度高，密度达到4.5g/cm3以上；导电性能好，电阻率为2×10‑4～5×10‑4Ω.cm，能够满足中频或者直流溅射工艺制备氧化铌薄膜的要求。
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