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1.

发明授权
使用水蒸气中和离子束的系统和方法失效

公开(公告)号：CN1117390C

公开(公告)日：2003-08-06

申请号：CN98115954.0

申请日：1998-07-10

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·M·本文尼斯特 , F·辛克莱尔 , 陈炯

IPC: H01L21/425 , H01J37/317 , C30B31/22 , H05H3/02

CPC classification number: H01J37/026 , H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供了一种改进的离子束中和器(22)，用于中和由离子源(12)的提取口(50)输出的离子束(28)的电荷。中和器包括水源(52)；连接到水源的汽化器(54)；连接到汽化器的质量流量控制器(56)；连接到质量流量控制器的入口(60)。入口(60)提供有紧邻离子束提取口(50)的注射口(68)，这种改进的离子束中和器在低能(小于十千电子伏特(10KeV))的束应用中特别有效。

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