公开(公告)号：CN1140816C

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：CN98116007.7

申请日：1998-07-13

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·M·本文尼斯特

IPC: G01T5/00

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J2237/31703

Abstract: 提供了一种用于离子注入系统(10)的改进的中性粒子检测器(52)，用于检测主要包括中性粒子和正电荷离子的离子束的中性粒子含量。中性粒子检测器(52)包括(i)位于负电位的偏束板(78)；(ii)相对于偏束板(78)为正电位的第一收集电极(82)，用于收集由于离子束内的中性粒子与偏束板(78)撞击由偏束板(78)发射的二次电子；以及(iii)相对于偏束板(78)为正电位的第二收集电极(84)，用于收集由于离子束内的正电荷离子与偏束板(78)撞击由偏束板(78)发射的二次电子。偏束板(78)和收集电极(82，84)间隔一段距离，离子束穿过其中。中性粒子检测器(52)确定与离子束传输穿过的残留背景气体的成分或压力无关的离子束的中性粒子比例。

公开(公告)号：CN1101593C

公开(公告)日：2003-02-12

申请号：CN96122647.1

申请日：1996-10-18

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·M·本文尼斯特

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/14

Abstract: 低能量离子注入器(10)有发射离子(14)的离子源(12)，和注入室(17)。质量分析磁铁(122)配置在沿源和注入室之间的束通道上。磁铁包括多个磁极靴(110，112)，并有面向内的极面(114，116)，至小确定离子偏转区(12)的一部分。电流传导线圈(122，123)在极靴附近的偏转区建立二极磁场(BO)。附加的线圈(130，131，132，133，134，135，136，137)在偏转区建立四极磁场(Q1，Q2，Q3，Q4)。控制器(100)电连接到磁铁的线圈，控制电流通过电流传导线圈，在极靴附近的偏转区产生磁场。

公开(公告)号：CN1117390C

公开(公告)日：2003-08-06

申请号：CN98115954.0

申请日：1998-07-10

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·M·本文尼斯特 ,  F·辛克莱尔 ,  陈炯

IPC: H01L21/425 ,  H01J37/317 ,  C30B31/22 ,  H05H3/02

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供了一种改进的离子束中和器(22)，用于中和由离子源(12)的提取口(50)输出的离子束(28)的电荷。中和器包括水源(52)；连接到水源的汽化器(54)；连接到汽化器的质量流量控制器(56)；连接到质量流量控制器的入口(60)。入口(60)提供有紧邻离子束提取口(50)的注射口(68)，这种改进的离子束中和器在低能(小于十千电子伏特(10KeV))的束应用中特别有效。