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公开(公告)号：CN105874560A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071806.8
申请日：2014-11-14
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。
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公开(公告)号：CN105103262A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480019441.4
申请日：2014-03-05
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
摘要： 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
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公开(公告)号：CN103975092A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201280060457.0
申请日：2012-11-19
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 彼得·F·库鲁尼西 , 克里斯多夫·J·里维特 , 丹尼尔·迪斯塔苏 , 提摩太·J·米勒
CPC分类号： H01J37/32146 , G21K1/14 , H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J37/32412 , H01J37/32422 , H01J2237/0044
摘要： 一种处理系统(10)可包含：等离子体源(12)，其用于提供等离子体；以及工件固持器(28)，其经布置以接收来自所述等离子体的离子。所述处理系统可还包含脉冲偏压电路(42)，所述脉冲偏压电路电耦合到所述等离子体源且可操作以将供应到所述等离子体源的偏压电压在高电压状态与低电压状态之间切换，在所述高电压状态中，所述等离子体源相对于接地处于正偏压，且在所述低电压状态中，所述等离子体源相对于所述接地处于负偏压。
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公开(公告)号：CN103456588A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/08
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
摘要： 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN101714491B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910253908.2
申请日：2005-04-15
申请人： 纳沃技术有限公司
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/09 , H01J37/28 , H01J2237/0041 , H01J2237/026
摘要： 利用带电粒子研究或修改样品的装置。所述装置具体为扫描电子显微镜，所述样品具有样品表面，所述装置包括：带电粒子束；导电屏蔽元件，具有用于使所述带电粒子束穿过的开孔；其中所述屏蔽元件以使所述屏蔽元件不接触所述样品的距离位于所述样品上方；其中在所述屏蔽元件和所述样品表面之间的距离小于50微米，其特征在于，所述屏蔽元件的开孔在至少一个方向上的尺寸小于50微米。
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公开(公告)号：CN102473575A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031271.3
申请日：2010-07-15
申请人： 艾克塞利斯科技公司
发明人： 奈尔·卡尔文
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/317 , H01J3/40 , H01J37/02
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/09 , H01J2237/0041 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
摘要： 提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。
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公开(公告)号：CN101504906B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN200810167498.5
申请日：2008-10-10
申请人： 应用材料股份有限公司
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
摘要： 本发明提供一种离子束导管。还提供具有这种离子束导管的离子注入器。该导管在该注入器中位于与待注入晶片相邻的位置，以在注入期间限制用于晶片中和的带电粒子，该导管包括一个或多个壁，所述一个或多个壁限定了穿过该导管以允许离子束通过的中心钻孔，其中所述一个或多个壁被构成为使得该中心钻孔逐渐变细。有利地，由于导管具有向外逐渐变细的中心钻孔，由此缓解了当离子束通过导管时射束撞击的问题。
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公开(公告)号：CN101095209B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200580045542.X
申请日：2005-11-18
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/1475 , H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/0042 , H01J2237/055
摘要： 本发明揭露一种借由束缚一离子布植机的一磁铁的一磁性区域内的电子，以降低电子损耗且因此改良一低能量射束的输送效率，从而改良邻近该离子布植机的该磁铁的空间电荷中和的方法以及装置。提供一用于一离子布植机的一磁铁的磁极部件，前述磁极部件包括一外表面，其具有形成邻近前述磁极部件的磁场集中区的多个磁场集中部件。遭遇该增强的磁场的电子沿相同磁场线反弹回去而不是经允许而逃逸。本发明亦提供一分析器磁铁以及包括前述磁极的离子布植机，因此实现了一改良一离子布植机中的低能量离子束空间电荷中和的方法。
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公开(公告)号：CN101849275A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200880115028.2
申请日：2008-11-06
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/077 , H01J3/00 , H01J37/02 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/06366
摘要： 一种等离子体电子流系统，包括构造为包含气体的壳体，并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极，并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通，所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极，其中所述电子通过所述细长引出缝被释放，作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。
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公开(公告)号：CN101103432B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200580046588.3
申请日：2005-11-18
申请人： 瓦里安半导体设备公司
发明人： 安东尼·雷诺 , 唐纳·L·史麦特雷克 , 詹姆士·贝福 , 艾立克·赫尔曼森
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02
CPC分类号： H01J27/02 , H01J37/026 , H01J37/05 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H05H7/08
摘要： 本发明是用一或多个电子源，将电子(18)注入即将在磁铁的磁极片(130，132)之间传送的一离子束(122)。在本发明部分实施例中，该些电子源是位于磁铁的磁极片的其中之一或两者的凹穴(160)中。在本发明其他实施例中，无线电频率或微波等离子流枪是位于磁极片之间，或配置在磁极片的至少其中之一的凹穴中。
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