公开(公告)号：CN100583377C

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200580038756.4

申请日：2005-09-08

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： A·阿加华尔 ,  R·拉斯梅尔 ,  D·侯格路德

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/30472

Abstract: 一种离子注入机，用于产生扁带或带状束，其具有一种扫描装置，该扫描装置对由一源所发射的离子进行横向扫描，以提供移动至一注入室内的薄离子束。一工件支撑件将工件定位于注入室之内，且一驱动器使得该工件支撑件垂直于该扁带的平面而上下移动，以通过该薄的带状离子束，以实现对工件的受控束处理。一控制器包括：第一控制输出，其耦合至扫描装置，将对该离子束的横向扫描范围限制成小于一最大量，并由此将对该工件的离子处理限制到该工件的一指定区域；及第二控制输出，其耦合至该驱动器，同时将该工件的上下移动范围限制成小于一最大量，且使得离子束冲击工件的受控部分。

公开(公告)号：CN101065823A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200580038756.4

申请日：2005-09-08

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： A·阿加华尔 ,  R·拉斯梅尔 ,  D·侯格路德

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/30472

Abstract: 一种离子注入机，用于产生扁带或带状束，其具有一种扫描装置，该扫描装置对由一源所发射的离子进行横向扫描，以提供移动至一注入室内的薄离子束。一工件支撑件将工件定位于注入室之内，且一驱动器使得该工件支撑件垂直于该扁带的平面而上下移动，以通过该薄的带状离子束，以实现对工件的受控束处理。一控制器包括：第一控制输出，其耦合至扫描装置，将对该离子束的横向扫描范围限制成小于一最大量，并由此将对该工件的离子处理限制到该工件的一指定区域；及第二控制输出，其耦合至该驱动器，同时将该工件的上下移动范围限制成小于一最大量，且使得离子束冲击工件的受控部分。