公开(公告)号：CN101461027A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780020511.8

申请日：2007-06-01

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 黄永章 ,  约翰·叶 ,  迈克尔·葛雷夫 ,  布赖恩·弗瑞尔 ,  克里斯托夫·戈弗雷 ,  帕特里克·斯普林特

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/31703

摘要： 一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和/或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的逆向电流测量值，从所述的逆向电流测量值导出终端返回电流或复合逆向电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子束的扫描或剂量。

公开(公告)号：CN101461027B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN200780020511.8

申请日：2007-06-01

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 黄永章 ,  约翰·叶 ,  迈克尔·葛雷夫 ,  布赖恩·弗瑞尔 ,  克里斯托夫·戈弗雷 ,  帕特里克·斯普林特

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/31703

摘要： 一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和/或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的上游电流测量值，从所述的上游电流测量值导出终端返回电流或复合上游电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子束的扫描或剂量。