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公开(公告)号：CN101461027A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780020511.8
申请日：2007-06-01
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24535 , H01J2237/31703
摘要： 一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和/或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的逆向电流测量值，从所述的逆向电流测量值导出终端返回电流或复合逆向电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子束的扫描或剂量。
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公开(公告)号：CN101675494B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200880014181.6
申请日：2008-04-03
申请人： 艾克塞利斯科技公司
发明人： 迈克尔·葛雷夫 , 约翰·叶 , 波·凡德尔贝格 , 迈克尔·克里斯托弗罗 , 黄永章
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/24578 , H01J2237/30477
摘要： 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。
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公开(公告)号：CN101675494A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200880014181.6
申请日：2008-04-03
申请人： 艾克塞利斯科技公司
发明人： 迈克尔·葛雷夫 , 约翰·叶 , 波·凡德尔贝格 , 迈克尔·克里斯托弗罗 , 黄永章
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/24578 , H01J2237/30477
摘要： 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。
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公开(公告)号：CN101461027B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200780020511.8
申请日：2007-06-01
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24535 , H01J2237/31703
摘要： 一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和/或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的上游电流测量值，从所述的上游电流测量值导出终端返回电流或复合上游电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子束的扫描或剂量。
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