公开(公告)号：CN101517725B

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN200780030643.9

申请日：2007-08-13

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 多诺万·贝克尔 ,  艾瑞·埃里克松 ,  罗伯特·米切尔 ,  米歇尔·法朗德 ,  马文·拉封登 ,  阿什翁·普罗希特 ,  史蒂夫·韦德 ,  韦恩·阿瑟诺特 ,  尚特努·帕萨克

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6831 ,  H01L21/68764

摘要： 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。

公开(公告)号：CN101517725A

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200780030643.9

申请日：2007-08-13

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 多诺万·贝克尔 ,  艾瑞·埃里克松 ,  罗伯特·米切尔 ,  米歇尔·法朗德 ,  马文·拉封登 ,  阿什翁·普罗希特 ,  史蒂夫·韦德 ,  韦恩·阿瑟诺特 ,  尚特努·帕萨克

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6831 ,  H01L21/68764

摘要： 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。