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公开(公告)号：CN102099890A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200980127779.0
申请日：2009-06-23
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147 , H01J37/304
CPC分类号： H01J37/1471 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24578
摘要： 本发明公开了一种离子束角检测设备，包括：线性驱动组件，所述线性驱动组件固定地连接到可移动轮廓仪组件，其中轮廓仪组件包括轮廓仪，所述轮廓仪具有形成于轮廓仪顶板内的轮廓仪孔洞以及轮廓仪传感器组件；可移动角度掩模组件，所述可移动角度掩模组件包括具有掩模孔洞的可移动角度掩模，其中角度掩模组件非固定地连接到轮廓仪组件，掩模孔洞通过给与固定地连接到轮廓仪组件的掩模线性驱动器能量而能够相对于轮廓仪孔洞移动，并且轮廓仪孔洞可移动通过大于离子束的延伸长度的长度。
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公开(公告)号：CN101517725A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780030643.9
申请日：2007-08-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/68764
摘要： 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。
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公开(公告)号：CN102099890B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN200980127779.0
申请日：2009-06-23
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147 , H01J37/304
CPC分类号： H01J37/1471 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24578
摘要： 本发明公开了一种离子束角检测设备，包括：线性驱动组件，所述线性驱动组件固定地连接到可移动轮廓仪组件，其中轮廓仪组件包括轮廓仪，所述轮廓仪具有形成于轮廓仪顶板内的轮廓仪孔洞以及轮廓仪传感器组件；可移动角度掩模组件，所述可移动角度掩模组件包括具有掩模孔洞的可移动角度掩模，其中角度掩模组件非固定地连接到轮廓仪组件，掩模孔洞通过给与固定地连接到轮廓仪组件的掩模线性驱动器能量而能够相对于轮廓仪孔洞移动，并且轮廓仪孔洞可移动通过大于离子束的延伸长度的长度。
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公开(公告)号：CN101517725B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200780030643.9
申请日：2007-08-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/68764
摘要： 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。
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