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发明公开
混合能量离子注入审中-实审

公开(公告)号：CN117941024A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202280053614.9

申请日：2022-08-04

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 詹姆斯·德卢卡 , 德怀特·罗 , 帕特里克·赫雷斯 , 阿图尔·古普塔

IPC: H01J37/317 , H01J37/147

Abstract: 离子注入系统和方法在串联单工件终端站中跨工件注入变化的离子束能量，其中加速/减速级的电极、弯曲电极和/或能量过滤器控制离子束到工件的最终能量或路径。弯曲电极或能量过滤器可以是加速/减速级的一部分，或可以位于下游。扫描装置扫描离子束和/或工件，并且电源向电极提供变化的电偏置信号。控制器基于工件处的所需的离子束能量选择性地改变与离子束和/或工件通过离子束的扫描同时发生的电偏置信号。波形发生器可以提供变化并且使供应至加速/减速级、弯曲电极和/或能量过滤器的电偏置信号同步。

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