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公开(公告)号：CN101421814A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780013079.X
申请日：2007-04-10
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/304 , H01J37/317 , G21K5/10
CPC分类号： H01J37/3171 , G21K5/04 , H01J37/304 , H01J2237/24507 , H01J2237/3045 , H01J2237/30455 , H01J2237/31703
摘要： 本发明的实施例是关于一种用于调整被扫描离子射束的带状射束通量的方法。于此方法中，会以一扫描速率来扫描离子射束，而且会在扫描该离子射束时来测量多个动态射束轮廓。经修正的扫描速率会依据该被扫描离子射束的该多个经测量动态射束轮廓而被算出。该离子射束会以该经校正的扫描速率来扫描，以便产生经修正的带状离子射束。本发明还揭示其它方法与系统。
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公开(公告)号：CN102007564A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980113522.X
申请日：2009-04-23
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/317 , H01J27/00 , H01J27/08
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/09 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/061 , H01J2237/0835
摘要： 本发明公开一种离子植入器系统，其包括一种使用于产生离子流或离子射束的一离子源。该离子源具有一离子源室壳体，其至少部分地限定一离子化区域，以用于在该室壳体中产生高密度的离子浓度。一所想要特征的离子撷取孔径覆盖一弧形室的该离子化区域。在一实施例中，一可移动离子撷取孔径板相对于该壳体移动，以用于修正一离子射束轮廓。一实施例包括一孔径板，其具有至少一延长孔径，且在至少界定不同离子射束轮廓的一第一位置与一第二位置间移动。耦接至该孔径板的一驱动器或致动器系将该孔径板在该第一位置与该第二位置间移动。一替代实施例具有两个移动板部分，其限定一可调整孔径。
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公开(公告)号：CN101558469A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200780034611.6
申请日：2007-09-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
摘要： 一种磁性扫描器，采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件，用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
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公开(公告)号：CN101421814B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200780013079.X
申请日：2007-04-10
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/304 , H01J37/317 , G21K5/10
CPC分类号： H01J37/3171 , G21K5/04 , H01J37/304 , H01J2237/24507 , H01J2237/3045 , H01J2237/30455 , H01J2237/31703
摘要： 本发明的实施例是关于一种用于调整被扫描离子射束的带状射束通量的方法。于此方法中，会以一扫描速率来扫描离子射束，而且会在扫描该离子射束时来测量多个动态射束轮廓。经修正的扫描速率会依据该被扫描离子射束的该多个经测量动态射束轮廓而被算出。该离子射束会以该经校正的扫描速率来扫描，以便产生经修正的带状离子射束。本发明还揭示其它方法与系统。
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公开(公告)号：CN101558469B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200780034611.6
申请日：2007-09-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
摘要： 一种磁性扫描器，采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件，用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
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