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公开(公告)号：CN104756224A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380043992.X
申请日：2013-10-30
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/304 , H01J37/317
CPC classification number: H01L22/26 , C23C14/48 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/30455 , H01J2237/30472 , H01J2237/31703 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种离子注入系统，该离子注入系统具有配置成向工件提供聚点离子束的离子注入设备，该聚点离子束具有与其相关的射束密度，其中该工件具有与其相关的晶体结构。扫描系统沿一轴或多轴相对于彼此地反复扫描聚点离子束与工件中的一个或多个。还提供控制器，该控制器配置成在工件上的预定位置暴露于聚点离子束时确立工件的预定局部温度。由此在该预定位置获得工件晶体结构的预定局部失序，其中控制器配置成控制聚点离子束的射束密度以及与扫描系统相关的占空比中的一个或多个，从而在工件上的预定位置确立该工件的局部温度。
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公开(公告)号：CN104756224B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201380043992.X
申请日：2013-10-30
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/304 , H01J37/317
CPC classification number: H01L22/26 , C23C14/48 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/30455 , H01J2237/30472 , H01J2237/31703 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种离子注入系统，该离子注入系统具有配置成向工件提供聚点离子束的离子注入设备，该聚点离子束具有与其相关的射束密度，其中该工件具有与其相关的晶体结构。扫描系统沿一轴或多轴相对于彼此地反复扫描聚点离子束与工件中的一个或多个。还提供控制器，该控制器配置成在工件上的预定位置暴露于聚点离子束时确立工件的预定局部温度。由此在该预定位置获得工件晶体结构的预定局部失序，其中控制器配置成控制聚点离子束的射束密度以及与扫描系统相关的占空比中的一个或多个，从而在工件上的预定位置确立该工件的局部温度。
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公开(公告)号：CN111771108A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201980015162.3
申请日：2019-04-01
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 约翰·巴格特 , 罗纳德·里斯 , 彼得罗斯·科帕里迪斯
IPC: G01K13/00
Abstract: 本发明涉及一种热夹盘，其选择性将工件保持在夹持面上。所述热夹盘具有一个或多个加热器，用于选择性加热夹持面和工件。当工件驻留于夹持面上时，热监测装置确定工件表面的温度，从而定义一个或多个测量温度。控制器基于一个或多个测量温度而选择性使一个或多个加热器通电。热监测装置可以是选择性与工件的表面互相接触的热电偶或RTD以及与该表面互不接触的发射率传感器或高温计中的一个或多个。所述热夹盘能够作为配置成将离子注入到工件中的离子注入系统的一部分。控制器能够进一步配置成基于测量温度来控制加热器。
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