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公开(公告)号：CN117289727A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311087176.0
申请日：2023-08-28
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明涉及一种用于RCA制程的臭氧水流量控制系统及流体供应方法，该系统包括主管路恒定流量模组和支管路流量调节模组，主管路恒定流量模组的主供液管道进口端连接臭氧水系统，出口端连接液气分离器，主供液管道上装设有压力传感器、三通阀和压力控制阀，压力控制阀出气口连接压力传感器感应端，主供液管道通过三通阀连接支管路流量调节模组，液气分离器上连接有液体检测传感器，液气分离器出气口处装设有压力传感器五，出气口通过管道连接三通型气动阀门，三通型气动阀门两个出口分别连接常压排气和真空抽气管道，液气分离器出液口连接排液管道；本发明可避免臭氧系统由于主管路流量的波动无法稳定其臭氧浓度以及支管路波动对主管路的影响。
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公开(公告)号：CN117276125A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311213207.2
申请日：2023-09-20
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种半导体晶圆清洗机摆臂机构，包括电机座，电机座上固定连接有机器人关节，机器人关节内部配置有谐波减速器，机器人关节的旋转芯轴上固定有主轴，主轴顶端固定有悬臂固定座，悬臂固定座上固定有管件；电机座下方设有气缸，并与气缸的活塞端相连，气缸通过电机座带动管件上升或下降，气缸固定于气缸座板上，气缸座板固定于底板上；底板另一侧设有左右对称的导向轴，导向轴穿过底板，每个导向轴上搭配有带法兰直线轴承，带法兰直线轴承固定于底板上，导向轴一端固定于电机座上，导向轴另一端安装有顶伸座；本发明安装较为简单，零件数量减少，整体结构尺寸减小，重量减轻，克服了传统结构所存在的安装复杂，结构尺寸大的问题。
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公开(公告)号：CN118352274B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410462118.X
申请日：2024-04-17
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , C03C15/00
摘要： 本发明属于湿式制程设备技术领域，且公开了一种半导体湿式制程设备，包括箱体，所述箱体的内部竖直放置有玻璃基板，所述箱体的两侧均开设有料槽，所述箱体的顶部安装有多组供给设备和电机，所述箱体的底部安装有排液管，所述箱体内壁的上下两侧均固定安装有前后两组减速传动支架，上下两侧所述减速传动支架之间转动安装有密封筒。本装置利用产生的离心力和弹簧被压缩产生的弹性势能释放将密封筒内腔的刻蚀液沿喷管向外喷射而出，通过喷管降低其运动的截面积，提高流速，并通过设置有限位柱将经过喷管的刻蚀液通过撞击使其变成小颗粒，并喷射至玻璃基板的表面，达到进一步的均匀刻蚀效果。
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公开(公告)号：CN117276125B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311213207.2
申请日：2023-09-20
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种半导体晶圆清洗机摆臂机构，包括电机座，电机座上固定连接有机器人关节，机器人关节内部配置有谐波减速器，机器人关节的旋转芯轴上固定有主轴，主轴顶端固定有悬臂固定座，悬臂固定座上固定有管件；电机座下方设有气缸，并与气缸的活塞端相连，气缸通过电机座带动管件上升或下降，气缸固定于气缸座板上，气缸座板固定于底板上；底板另一侧设有左右对称的导向轴，导向轴穿过底板，每个导向轴上搭配有带法兰直线轴承，带法兰直线轴承固定于底板上，导向轴一端固定于电机座上，导向轴另一端安装有顶伸座；本发明安装较为简单，零件数量减少，整体结构尺寸减小，重量减轻，克服了传统结构所存在的安装复杂，结构尺寸大的问题。
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公开(公告)号：CN117146081A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311150363.9
申请日：2023-09-07
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
IPC分类号： F16L23/16 , F16L23/036 , F16L23/032
摘要： 本发明涉及一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构，包括法兰本体，法兰本体直接连接于泵的进液口与槽体之间；法兰本体底端设有阶梯台阶，阶梯台阶上安装有二级密封圈，法兰本体带有阶梯台阶的一侧与泵的进液口端面相连，法兰本体与泵之间通过沉头螺栓进行紧固，并在其紧固力下压紧二级密封圈以实现法兰本体与泵之间的密封；法兰本体顶端面上设置有一圈凹槽，凹槽内装设有一级密封圈，法兰本体带有凹槽的一侧与槽体相连，法兰本体通过外六角螺栓固定在槽体上，并在其紧固力下压紧一级密封圈，以实现法兰本体与槽体之间的密封；本发明可减少实际配管空间，降低因槽与泵独立安装占用的设施空间，同时避免了因泵与槽之间的配管接头过多导致漏液。
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公开(公告)号：CN117968555A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410136829.8
申请日：2024-01-31
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 本发明属于半导体技术领域，且公开了一种晶圆翘曲度的测量装置，包括外壳，外壳的顶部固定连接有上柱体套，上柱体套的内部固定安装有上控制磁线圈，其上柱体套的的内壁转动安装有转动套，转动套的内壁前后均固定连接有限位板。本发明通过转动油壳使环形套跟随转动，环形套转动会带动连接块、筒套、T形挡杆发生转动，从而改变磁性座以及晶圆的位置，再通过控制电机的输出轴经过传动从而带动L形杆发生旋转，L形杆转动时，球形杆会沿着圆形槽移动，从而改变光线接收屏的位置，进而改变晶圆的投影在光线接收屏上投影的大小，从而解决现有测量装置难以满足对各种尺寸晶圆高精度测量的要求。
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公开(公告)号：CN118531498B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410772234.1
申请日：2024-06-17
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
摘要： 本发明属于半导体加工技术领域，且公开了一种外延涂布半导体晶片的装置，包括本体、密封盖和连通管，所述本体的底部安装有坩埚和加热器，所述密封盖通过螺栓压合安装于本体的顶部，所述连通管固定连通于本体的侧面，并用于外接真空泵。本装置通过设置有蓄能机构将进入安装筒内腔的镀膜蒸发气体进行积聚，使其浓度增加至一定程度后，利用逐渐增大的推力向上推开密封板，并进入安装筒的中部，通过导流筒将蒸发气体的部分热能转化为动能，并向上持续输送，利用安装筒内腔形成的“烟囱效应”避免蒸发气体向下回流，维持了蒸发气体向上持续流动的单向性，为蒸发气体粒子均匀飞向基片的表面打下了动力基础。
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公开(公告)号：CN117968555B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410136829.8
申请日：2024-01-31
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 本发明属于半导体技术领域，且公开了一种晶圆翘曲度的测量装置，包括外壳，外壳的顶部固定连接有上柱体套，上柱体套的内部固定安装有上控制磁线圈，其上柱体套的的内壁转动安装有转动套，转动套的内壁前后均固定连接有限位板。本发明通过转动油壳使环形套跟随转动，环形套转动会带动连接块、筒套、T形挡杆发生转动，从而改变磁性座以及晶圆的位置，再通过控制电机的输出轴经过传动从而带动L形杆发生旋转，L形杆转动时，球形杆会沿着圆形槽移动，从而改变光线接收屏的位置，进而改变晶圆的投影在光线接收屏上投影的大小，从而解决现有测量装置难以满足对各种尺寸晶圆高精度测量的要求。
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公开(公告)号：CN117594494A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311630069.8
申请日：2023-11-29
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , F16K11/052 , F16K1/22 , F16K27/02
摘要： 本发明涉及一种半导体制程腔体化学液回收控制装置，包括外壳，外壳下方装有化学液分流机构，化学液分流箱顶部的进液口与外壳内部连通，化学液分流箱内装设有化学液分流板，化学液分流箱外侧安装有化学液分流调整电机，化学液分流板安装于化学液分流调整电机的输出端，并在化学液分流调整电机的带动下转动；化学液分流箱底端左右侧分别设有化学液A回收口和化学液B回收口，化学液分流箱底端中部的抽风口处安装有抽风阀，抽风阀内装设有抽风调整板，抽抽风阀外侧安装有抽风调整电机，抽风调整板安装于抽风调整电机的输出端；本发明可调整化学液分流结构，切换回收位置，从而能够减少因抽气流失的化学液，并通过调整抽风截面积，进而控制排风量。
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公开(公告)号：CN118531498A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410772234.1
申请日：2024-06-17
申请人： 苏州冠礼科技有限公司
摘要： 本发明属于半导体加工技术领域，且公开了一种外延涂布半导体晶片的装置，包括本体、密封盖和连通管，所述本体的底部安装有坩埚和加热器，所述密封盖通过螺栓压合安装于本体的顶部，所述连通管固定连通于本体的侧面，并用于外接真空泵。本装置通过设置有蓄能机构将进入安装筒内腔的镀膜蒸发气体进行积聚，使其浓度增加至一定程度后，利用逐渐增大的推力向上推开密封板，并进入安装筒的中部，通过导流筒将蒸发气体的部分热能转化为动能，并向上持续输送，利用安装筒内腔形成的“烟囱效应”避免蒸发气体向下回流，维持了蒸发气体向上持续流动的单向性，为蒸发气体粒子均匀飞向基片的表面打下了动力基础。
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