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公开(公告)号：CN103943726B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201410163858.X
申请日：2014-04-22
申请人： 英利集团有限公司
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种N型太阳能电池的制备方法及其高低结的制备方法。该N型太阳能电池的高低结的制备方法包括：建立P型硅片的方块电阻与N型硅片的表面磷扩散浓度之间的关系模型；根据所欲制备的N型硅片表面磷扩散浓度，对照关系模型，找到相应P型硅片的方块电阻的预设值；按以下步骤对N型硅片进行磷扩散处理：A1将N型硅片与P型硅片在相同条件下进行磷扩散处理；A2对经磷扩散处理后的P型硅片进行测试，获取P型硅片的方块电阻；A3对比经磷扩散处理后的P型硅片的方块电阻与预设值，若大于预设值，则重复步骤A1和A2至两者之间差值的绝对值小于预设差值为止。该方法既能降低测试的难度和成本，又能监控N型硅片生产中高低结的优劣。
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公开(公告)号：CN102800757B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210309888.8
申请日：2012-08-28
申请人： 英利集团有限公司
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明提供了一种N型太阳能电池的制造工艺，包括步骤1）硅片清洗制绒；2）在硅片的背场面需要印刷栅线的位置处印刷磷浆，所述背场面为掺杂磷杂质的面；3）磷、硼扩散；4）化学清洗表面并激光刻边，使上下两面绝缘；5）双面镀膜；6）印刷正背面电极；7）烧结。该制造工艺在进行磷、硼扩散之前，在硅片的背场面需要印刷栅线的位置处印刷磷浆，使得扩散结束后的电池片上的印刷磷浆区形成高掺杂深扩散区，其他区域形成低掺杂浅扩散区，硅片表面形成高低异质结，使N型太阳能电池获得选择性背场，提高了电池的光电转换效率。由于与腐蚀浆料相比，磷浆价格便宜，故能够降低生产成本。本发明还提供了一种N型太阳能电池。
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公开(公告)号：CN103433233B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310371345.3
申请日：2013-08-22
申请人： 英利集团有限公司
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明提供了一种晶硅腐蚀浆料的清洗方法、晶硅太阳能电池及其制作方法。该清洗方法包括：步骤S1，采用弱碱性溶液对残余腐蚀浆料的硅片进行超声清洗；步骤S2，采用纯水将完成步骤S1的硅片进行清洗。采用弱碱性溶液直接清洗弱酸性的腐蚀浆料，在超声作用的配合下，利用化学反应替代现有技术中的纯物理清洗作用，在较短的时间内即可完成，并且能够将处于边角位置的腐蚀浆料通过化学反应快速去除，不仅保证了清洗效果而且在缩短了清洗时间；同时，由于碱性溶液对硅片的主体没有腐蚀作用，因此不会对硅片已有的结构造成影响，进而不会影响以其制作的太阳能电池的效率，反而会由于清洗较为干净进一步提高了太阳能电池的各项性能。
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公开(公告)号：CN103346212B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310263648.3
申请日：2013-06-27
申请人： 英利集团有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/223
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种磷扩散方法、P型电池制备方法以及N型电池制备方法，所述磷扩散方法包括：对扩散炉进行加热；当加热至三氯氧磷与氧气反应的温度后，通入设定流量的小氮以及氧气，并持续加热，其中，所述小氮为携带三氯氧磷的氮气，所述小氮的流量小于氧气的流量；当扩散内温度稳定在磷扩散要求的工艺温度后，使小氮的流量大于氧气的流量，开始磷扩散；预设时间的磷扩散后，进行退火处理。所述磷扩散方法在进行加热以及稳定炉温阶段，可去除硅片表面的金属离子，从而避免了进行磷扩散时，金属离子扩散入硅片内形成复合中心，采用所述磷扩散方法制备的P型电池以及N型电池具有较高的转换效率。
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公开(公告)号：CN103436967A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310348787.6
申请日：2013-08-12
申请人： 英利集团有限公司
摘要： 本发明公开了一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法，涉及单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的扩散工艺技术领域。所述方法通过在扩散炉内增加石英挡板，打乱了原有气流的分布，使工艺气体更加均匀的分布在炉管的各个温区，保证了太阳能电池片良好PN结的形成，使得太阳能电池转换效率更高。通过所述方法改造后的管式扩散炉，改造简单，成本低，不易损耗，使用寿命长。而且，使用所述方法降低了易损耗的工艺气体使用量，从而降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN103346212A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310263648.3
申请日：2013-06-27
申请人： 英利集团有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/223
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种磷扩散方法、P型电池制备方法以及N型电池制备方法，所述磷扩散方法包括：对扩散炉进行加热；当加热至三氯氧磷与氧气反应的温度后，通入设定流量的小氮以及氧气，并持续加热，其中，所述小氮为携带三氯氧磷的氮气，所述小氮的流量小于氧气的流量；当扩散内温度稳定在磷扩散要求的工艺温度后，使小氮的流量大于氧气的流量，开始磷扩散；预设时间的磷扩散后，进行退火处理。所述磷扩散方法在进行加热以及稳定炉温阶段，可去除硅片表面的金属离子，从而避免了进行磷扩散时，金属离子扩散入硅片内形成复合中心，采用所述磷扩散方法制备的P型电池以及N型电池具有较高的转换效率。
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公开(公告)号：CN103227244A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310165039.4
申请日：2013-05-07
申请人： 英利集团有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种N型太阳能电池及其选择性背场制备方法。该N型太阳能电池的选择性背场制备方法包括以下步骤：在N型衬底的预定位置印刷磷浆料；将印刷有磷浆料的所述N型衬底进行高温扩散，并通入三氯氧磷气体，形成选择性背场。N型衬底上印有磷浆料的位置形成高掺杂区，没有印刷磷浆料的位置通过三氯氧磷气体的扩散形成低掺杂区，这样就在N型衬底上形成掺杂浓度不同的选择性背场，通过此方法仅通过一次高温过程即可实现选择性背场的制备，避免了多次高温对N型衬底的损伤。
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公开(公告)号：CN103436967B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310348787.6
申请日：2013-08-12
申请人： 英利集团有限公司
摘要： 本发明公开了一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法，涉及单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的扩散工艺技术领域。所述方法通过在扩散炉内增加石英挡板，打乱了原有气流的分布，使工艺气体更加均匀的分布在炉管的各个温区，保证了太阳能电池片良好PN结的形成，使得太阳能电池转换效率更高。通过所述方法改造后的管式扩散炉，改造简单，成本低，不易损耗，使用寿命长。而且，使用所述方法降低了易损耗的工艺气体使用量，从而降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN103066164A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201310039810.3
申请日：2013-01-31
申请人： 英利集团有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0352 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种N型太阳能电池及其制作方法，所述方法包括：提供一N型硅片，所述N型硅片的正面包括：正面栅线区域以及正面非栅线区域；在所述N型硅片的正面形成掩膜层，所述掩膜层能够阻止P型离子的扩散；去除所述正面栅线区域的掩膜层；对所述N型硅片的正面进行第一次P型掺杂，在所述正面栅线区域形成第一P型掺杂区；去除剩余的掩膜层，对所述正面进行第二次P型掺杂，在所述正面非栅线区域形成第二P型掺杂区，所述第二P型掺杂区的掺杂浓度小于所述第一P型掺杂区的掺杂浓度；对所述N型硅片进行退火处理；在所述N型硅片上形成正面电极结构以及背面电极结构。该方法保证了硅片的机械强度，电池片不易破碎。
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公开(公告)号：CN103456842B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201310418670.0
申请日：2013-09-13
申请人： 英利集团有限公司
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明提供了一种N型太阳能电池选择性背场的制备工艺测试方法。该测试方法包括：步骤S1：测试用于制备选择性背场的基底的第一方块电阻；步骤S2：在基底的背面进行印刷腐蚀浆料、烘干以及清洗的工艺，得到选择性背场，并测试选择性背场的第二方块电阻；步骤S3：判断第二方块电阻的电阻值是否达到目标值，如果未达到目标值，更换新的基底并重复步骤S1，在步骤S1之后，调节腐蚀浆料的重量和/或烘干的温度，并进行步骤S2；如果达到目标值，步骤S2中的工艺确定为N型太阳能电池选择性背场的制备工艺。本发明的测试方法确定的N型太阳能电池选择性背场的制备工艺可以投入大规模的生产和使用。
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