公开(公告)号：CN106185781B

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201610326879.8

申请日：2016-05-17

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： U·施密德 ,  G·德尼弗尔 ,  T·弗里施穆斯 ,  T·格里勒 ,  U·赫德尼格 ,  P·伊尔西格勒 ,  M·卡恩 ,  D·莫勒 ,  M·施奈德

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H04R31/00

摘要： 本发明的各个实施例涉及微机械结构及其制造方法。微机械结构包括衬底和布置在该衬底上的功能结构。功能结构包括功能区域，该功能区域可响应于作用在该功能区域上的力而相对于衬底偏转。功能结构包括碳层构造，其中碳层构造的基体材料是碳材料。

公开(公告)号：CN107764392A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201710707737.0

申请日：2017-08-17

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： A·德厄 ,  M·多夫梅斯特 ,  U·施密德 ,  M·施奈德

IPC分类号： G01H11/08

CPC分类号： G01H11/08 ,  H01L41/0836

摘要： 一种声波传感器可具有：可通过待检测的声波偏转的连续的膜片和压电层，该压电层设置在膜片上并且具有多个压电层部段，这些压电层部段分别配有至少两个独立的电接触结构，这些电接触结构设置用于与相应的压电层部段电接触。对应于不同压电层部段的电接触结构可彼此分开。

公开(公告)号：CN106185781A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610326879.8

申请日：2016-05-17

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： U·施密德 ,  G·德尼弗尔 ,  T·弗里施穆斯 ,  T·格里勒 ,  U·赫德尼格 ,  P·伊尔西格勒 ,  M·卡恩 ,  D·莫勒 ,  M·施奈德

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H04R31/00

摘要： 本发明的各个实施例涉及微机械结构及其制造方法。微机械结构包括衬底和布置在该衬底上的功能结构。功能结构包括功能区域，该功能区域可响应于作用在该功能区域上的力而相对于衬底偏转。功能结构包括碳层构造，其中碳层构造的基体材料是碳材料。

公开(公告)号：CN116067482A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202310189518.3

申请日：2017-08-17

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： A·德厄 ,  M·多夫梅斯特 ,  U·施密德 ,  M·施奈德

IPC分类号： G01H11/08

摘要： 一种声波传感器可具有：可通过待检测的声波偏转的连续的膜片和压电层，该压电层设置在膜片上并且具有多个压电层部段，这些压电层部段分别配有至少两个独立的电接触结构，这些电接触结构设置用于与相应的压电层部段电接触。对应于不同压电层部段的电接触结构可彼此分开。