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公开(公告)号:CN105829970B
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201480070395.0
申请日:2014-10-29
申请人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
发明人: 罗伯·雅各布·海德律克斯 , 爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨 , 桑迪普·梅农·佩林什里 , 宾·格伦
摘要: 本发明涉及基底上的电路图案以及用于形成基底上的电路图案的方法和系统。在典型的实施例中,光图案被投射至穿过透明层,以使连续材料层和透明层之间的粘附性图案化释放。从基底上撕下被粘附于图案化的材料层的释放层,以分离具有较低粘附性的材料,同时留下未被曝光的材料以在其上形成电路图案。
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公开(公告)号:CN105829970A
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201480070395.0
申请日:2014-10-29
申请人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
发明人: 罗伯·雅各布·海德律克斯 , 爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨 , 桑迪普·梅农·佩林什里 , 宾·格伦
摘要: 本发明涉及基底上的电路图案以及用于形成基底上的电路图案的方法和系统。在典型的实施例中,光图案被投射至穿过透明层,以使连续材料层和透明层之间的粘附性图案化释放。从基底上撕下被粘附于图案化的材料层的释放层,以分离具有较低粘附性的材料,同时留下未被曝光的材料以在其上形成电路图案。
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