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公开(公告)号:CN107850062A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201680025077.1
申请日:2016-06-20
申请人: 莱宝有限公司
CPC分类号: F04C28/065 , F04B37/14 , F04B41/06 , F04B49/06 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/06 , F04C28/26 , F04C2240/70
摘要: 一种真空泵系统(4、5、6),其包含多个彼此并联连接并且各自在入口侧连接到腔室(40、50、60)的真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62),其具有在真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的出口侧连接的出口管线(41),以及将至少一个真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的入口侧连接到出口管线(41)的中间管线(42),其特征在于在抽出期间所有真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)是并联连接的,并且在空闲期间真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的至少一个与其他的真空泵串联连接作为前级泵。
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公开(公告)号:CN109642573B
公开(公告)日:2020-09-29
申请号:CN201780052219.8
申请日:2017-08-14
申请人: 莱宝有限公司
摘要: 一种螺杆真空泵包括形成泵送室的壳体(26),其中壳体(26)由铝或铝合金制成。进一步提供布置在泵送室(46)中的两个螺杆转子,每个螺杆转子包括至少一个具有用于形成多个螺圈的螺旋形凹口的位移元件(10、12),其中所述至少一个位移元件(10、12)由铝或铝合金制成。在其中具有5%至30%的出口压力的区域与转子的压力侧端(泵出口)之间,提供至少六个,特别是至少八个,并且特别优选地至少十个螺圈。
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公开(公告)号:CN110770444A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201880032421.9
申请日:2018-05-23
申请人: 莱宝有限公司
摘要: 本发明涉及一种多级旋转活塞泵,包括:在壳体中的两个轴,该两个轴支撑多个旋转活塞。对应的旋转活塞形成相应的旋转活塞对,其中提供形成相应泵级的多个旋转活塞对。相邻的泵级通过连接通道彼此连接。所述多级旋转活塞泵还包括连接至第一泵级的泵入口以及连接至最后泵级的泵出口。根据本发明,内置体积比为至少15,因此可以获得至少1500m3/h的高泵送能力。
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公开(公告)号:CN106662106A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580031572.9
申请日:2015-06-15
申请人: 莱宝有限公司
摘要: 一种用于对腔室抽真空的真空泵系统,该腔室具体地为锁止腔室或处理腔室,该真空泵系统包括主真空泵(12),其优选地配置为螺杆泵。该主真空泵(12)的入口(30)与将要被抽真空的所述腔室连接。辅真空泵(24),具体为罗茨泵,被布置在主真空泵(12)的馈送方向上。所述主真空泵(12)的出口区(32)一方面与主出口(34)连接,并且另一方面与所述辅真空泵的入口(38)连接。进一步,辅真空泵的出口(40)与所述主出口(34)连接。
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公开(公告)号:CN107850064B
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201680037682.0
申请日:2016-07-14
申请人: 莱宝有限公司
CPC分类号: F04C29/04 , F04B37/14 , F04B39/06 , F04B53/08 , F04C25/02 , F04C2220/12 , F04C2270/19 , F04D17/168 , F04D19/04 , F04D19/042 , F04D29/584
摘要: 本发明涉及一种泵系统,所述泵系统包括真空泵(12)和连接至所述真空泵(12)的冷却元件(18)。冷却剂供给(20)和冷却剂排放(22)连接至所述冷却元件(18),用于通过利用冷却剂吸收和排放热量来冷却所述真空泵。所述冷却剂供给(20)和所述冷却剂排放(22)连接至热交换器(24),从而使热量从所述冷却剂排放(22)传递至所述冷却剂供给(20)。
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公开(公告)号:CN109690088A
公开(公告)日:2019-04-26
申请号:CN201780052594.2
申请日:2017-08-11
申请人: 莱宝有限公司
摘要: 一种真空泵转子,包括设置在转子轴(10)上的至少一个位移元件(12、14)。转子轴(10)包括至少一个轴端(16)以便在其上设置轴承元件。转子元件(10)、所述至少一个位移元件(12、14)和所述至少一个轴端(16)由铝或铝合金制成。
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公开(公告)号:CN109642573A
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201780052219.8
申请日:2017-08-14
申请人: 莱宝有限公司
摘要: 一种螺杆真空泵包括形成泵送室的壳体(26),其中壳体(26)由铝或铝合金制成。进一步提供布置在泵送室(46)中的两个螺杆转子,每个螺杆转子包括至少一个具有用于形成多个螺圈的螺旋形凹口的位移元件(10、12),其中所述至少一个位移元件(10、12)由铝或铝合金制成。在其中具有5%至30%的出口压力的区域与转子的压力侧端(泵出口)之间,提供至少六个,特别是至少八个,并且特别优选地至少十个螺圈。
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