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公开(公告)号:CN105723107B
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201480064003.X
申请日:2014-10-03
申请人: 埃地沃兹日本有限公司
发明人: 川岛敏明
CPC分类号: F04D29/058 , F04D19/042 , F04D27/00 , F04D29/053 , F16C32/0451 , F16C32/0489 , F16C2231/00 , F16C2233/00 , F16C2300/30 , F16C2360/00 , F16C2360/45 , H02K7/09
摘要: 本发明提供一种磁力轴承装置,该磁力轴承装置初始调整简单,且不增加控制设备的存储器容量,能够以简单的算法进行最合适的轴承控制。一对平方器(32xp、32xm)以及加法运算器(33)取得将未图示磁力轴承的转子轴在径向方向上在相反方向上吸引的一对电磁铁的各电流稳态值(Ip、Im),分别进行平方化并进行加法运算。然后,为了与磁力轴承的安装姿势相应地使各电磁铁的电流最合适地变化,补正系数运算器(35)根据被平方、加法运算后的电流稳态值(Ip^2+Im^2)计算作用于电磁铁的补正增益指令值Kcomp。接着,将在电磁铁的控制电路的基本增益Kctrl上加上补正增益指令值Kcomp而得的增益指令值G向输入增益放大器(38)输入。增益放大器(38)基于增益指令值G,生成被补正的电流指令值,从而最合适地控制磁力轴承。
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公开(公告)号:CN108708863A
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201711103957.9
申请日:2017-11-10
申请人: 埃地沃兹日本有限公司
CPC分类号: F04D19/042 , F04D19/048 , F04D29/26 , F04D29/403
摘要: 本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法,其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化,高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化,从而减少反应生成物的堆积。旋转体(4)具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体(4A)与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体(4B),构成为在第2圆筒体(4B)的外周面上以多级配置有多个动翼(6),由第1圆筒体(4A)的内表面(S1)与第2圆筒体(4B)的内表面(S2)构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体(4A)的外表面(Q1)构成为放射率比动翼(6)的外表面小的低放射率部。
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公开(公告)号:CN104595206B
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201410605607.2
申请日:2014-10-31
申请人: 普发真空有限公司
发明人: 贝恩德·霍夫曼
CPC分类号: F04D29/40 , F04D19/04 , F04D19/042 , F04D29/601 , F16L23/00 , F16L23/024 , F16L23/032 , F16L37/26
摘要: 本发明涉及一种用于部分收容法兰的收容机构,所述法兰与或能够与真空泵相连,所述收容机构包括:至少一个紧固部,用于固定到一个容器;至少一个支承部,在装配状态下,所述法兰承载于所述支承部上;以及至少一个由支承部围成的收容开口,其中,当收容机构固定于容器时,法兰能够自收容机构的入口侧被推进收容开口或从收容开口内被拉出。
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公开(公告)号:CN105317706B
公开(公告)日:2018-05-04
申请号:CN201510181590.7
申请日:2015-04-16
申请人: 株式会社岛津制作所
发明人: 坪川彻也
CPC分类号: F04D19/042 , F04D29/058 , F04D29/059 , F04D29/083 , F04D29/522 , F04D29/584 , F04D29/5853
摘要: 本发明是关于一种真空泵包括:圆筒状的转子圆筒部(13);圆筒状的定子(22),与转子圆筒部(13)协动而排出气体;基座(20),收纳有定子(22)的至少一部分,且在定子(22)的外周对向的位置形成有贯通孔(207);定子加热部(28),将贯通孔(207)从大气侧向真空侧贯通而热接触于定子(22)的外周面,且对所述定子(22)进行加热;以及轴密封件(284),将贯通孔(207)与定子加热部(28)真空密封。因此,即便定子(22)因热膨胀而向径向变形,加热器部件(281)也可随着所述变形而沿泵径向自由移动。
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公开(公告)号:CN103939367B
公开(公告)日:2017-11-17
申请号:CN201310717591.X
申请日:2013-12-23
申请人: 安捷伦科技有限公司
发明人: E.艾米丽
CPC分类号: F04D19/042 , F04D19/046 , F04D29/324
摘要: 本发明涉及一种旋转真空泵(30),其包括具有第一直径(D1)转子盘的第一组(I)泵级和具有第二不同直径(D2)转子盘的第二组(II)泵级,并且还包括特别适于匹配泵转子盘直径的所述变化的中间泵级(1)。根据本发明,所述中间泵级包括具有在径向方向上沿轴向从其内径至其外径逐渐变细的外部分的转子盘(5)和包括沿轴向从其周边朝向其中心逐渐变细的隔离环(7)的相应的定子级(3)。
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公开(公告)号:CN104520591B
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201380042444.5
申请日:2013-08-26
申请人: 埃地沃兹日本有限公司
IPC分类号: F04D19/04
CPC分类号: F04D19/042 , F04D19/044 , F04D29/023 , F04D29/38 , F04D29/542 , F04D29/58 , F04D29/5853 , F05B2260/231 , F05B2280/1021 , F05B2280/1071 , F05B2280/4008 , F05B2280/4009 , F05B2280/6003 , F05D2260/607 , F05D2300/121 , F05D2300/171 , F05D2300/173 , F05D2300/434 , F05D2300/436 , F05D2300/5024 , F05D2300/603
摘要: 本发明提供一种在真空泵中配设的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵,在真空泵中,在作为压力较高从而生成物(堆积物)容易堆积的部分即螺纹槽式泵部的下侧,不配设隔热件,便能防止生成物的堆积。在具备螺纹槽式泵部的真空泵中,配设热传导率值比既定的值小的螺纹槽衬垫。(1)将螺纹槽衬垫用热传导率值比与螺纹槽衬垫对置或接触的部件小的材料制造。具体而言,优选的是热传导率值比铝或铝合金小的不锈钢、强化纤维塑料、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮中的任意1种材料。(2)将螺纹槽衬垫用包括至少两个以上的多个零件的零件群构成。
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公开(公告)号:CN103597214B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201280029528.0
申请日:2012-05-31
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: F04B49/20 , F04B49/06 , F04D19/042 , F04D27/0261 , Y10T137/86083 , Y10T137/86139
摘要: 公开了一种用于降低由真空泵吸系统产生的非期望的噪声的方法及设备。真空系统操作以将室中的压力降低至第一压力值。然后,系统检测真空泵系统进口处的压力即将变为第二较高压力,且作为响应,真空泵系统中的增压泵的速度降低到低于泵的额定速度。当真空泵进口处的压力高于第二压力时,增压泵的速度增大至额定速度。因此,增压泵在泵系统变为暴露于进口压力的快速增大之前减慢。已经发现这将噪声水平降低到更可接受的水平。
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公开(公告)号:CN102749174B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201210118813.1
申请日:2012-04-20
申请人: 阿迪克森真空产品公司
IPC分类号: G01M3/02
CPC分类号: G01M3/205 , F04D19/042 , F04D27/008 , F04D27/0292
摘要: 本发明涉及一种用于监控检漏器的方法,该检漏器包括:设计成连接到主真空泵的二级真空泵,该二级真空泵包括马达、转子和定子,当马达被供能时所述转子能通过该马达在定子中旋转;以及,至少一个通知装置,该通知装置能被电气地供能,以便通知用户该检漏器的运行状态,其特征在于,在马达电源被切断的情况下,二级真空泵转子的旋转动能以电能的形式被回收(101)以便对通知装置供能(102)。本发明还涉及一种利用所述监控方法的检漏器(1)。
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公开(公告)号:CN104066999B
公开(公告)日:2016-10-19
申请号:CN201380006640.7
申请日:2013-01-24
申请人: 爱德华兹有限公司
CPC分类号: F04D17/168 , F04D17/06 , F04D19/04 , F04D19/042
摘要: 描述了一种改进的真空泵机构(10),其中交叉实心或穿孔元件(4)布置成与通道(12)部件交叉。交叉实心或穿孔元件和通道部件的相对移动引起气体分子从泵的入口(16)推动至泵的出口(18)。气体分子约束在通道部件内,并且气体分子与交叉实心或穿孔部件(14)的平且光滑的表面的相互作用影响气体分子的动量,以使它们被朝出口(18)指引。在一个实施例中,通道部件(12)形成为螺旋部,并且交叉实心或穿孔元件为盘形。提供了备选实施例,其具有构造为螺旋形部的通道部件(12)和构造为圆筒形裙部的穿孔元件。泵提供泵容量的显著改进、泵的减小的功率消耗和尺寸。
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公开(公告)号:CN105765231A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:CN201480061311.7
申请日:2014-11-05
申请人: 厄利孔莱博尔德真空有限责任公司
CPC分类号: F04D19/042 , F04D19/04 , F04D25/06 , F04D29/023 , F04D29/321 , F05D2300/173 , F05D2300/174 , F05D2300/43 , F05D2300/603
摘要: 一种用于真空泵的转子装置,包括转轴(10)和在转轴(10)上的至少一个转子单元(12)。根据本发明,至少一个转子单元(12)包含铝、钛和/或CFRP,而转轴(10)包含铬镍钢。这使得尤其可以使用压制工艺在室温下将至少一个转子单元(12)连接到转轴(10)。
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