公开(公告)号：CN101384880B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN200780005282.2

申请日：2007-02-13

申请人： 菲尼萨公司

发明人： 亭·石 ,  丹尼尔·崔恩 ,  帕维尔·普洛斯卡鲁

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G01R31/2642 ,  G01R31/2635 ,  H01S5/0014 ,  H01S5/02236 ,  H01S5/02415 ,  H01S5/02423

摘要： 本发明公开了一种用于检测被安装在辅助座上的激光硬模的温度受控的系统。该检测系统包括具有受电机驱动的平移平台的基座。平移平台包括具有被安装在基部上的两级温度控制系统的第一检测位置。温度控制系统包括热电冷却器和用于在循环块中循环冷却/加热流体的流体系统。安装部也被包括在第一检测位置上，其中辅助座被定位在该安装部上。安装部的温度被该温度控制系统控制。当第一检测位置与探针板对准时，具有臂和连接到该臂的电接触部的探针板向辅助座提供电源。具有可与第一检测位置对准的透镜组件的对准器接收由激光器产生的光信号。

公开(公告)号：CN101384880A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200780005282.2

申请日：2007-02-13

申请人： 菲尼萨公司

发明人： 亭·石 ,  丹尼尔·崔恩 ,  帕维尔·普洛斯卡鲁

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G01R31/2642 ,  G01R31/2635 ,  H01S5/0014 ,  H01S5/02236 ,  H01S5/02415 ,  H01S5/02423

摘要： 公开了一种用于检测被安装在辅助座上的激光硬模的温度受控的系统。该检测系统包括具有受电机驱动的平移平台的基座。平移平台包括具有被安装在基部上的两级温度控制系统的第一检测位置。温度控制系统包括热电冷却器和用于在循环块中循环冷却/加热流体的流体系统。安装部也被包括在第一检测位置上，其中辅助座被定位在该安装部上。安装部的温度被该温度控制系统控制。当第一检测位置与探针板对准时，具有臂和连接到该臂的电接触部的探针板向辅助座提供电源。具有可与第一检测位置对准的透镜组件的对准器接收由激光器产生的光信号。