公开(公告)号：CN1144063C

公开(公告)日：2004-03-31

申请号：CN99800253.4

申请日：1999-03-09

申请人： 葛莱特有限公司

发明人： 奥帕·金诺特 ,  乌里·金诺特 ,  吉拉德·莱德雷尔

IPC分类号： G01S17/50 ,  G01P3/36

CPC分类号： G06F3/0317 ,  G01D5/347 ,  G01P3/366 ,  G01P3/806 ,  G01S7/4811 ,  G01S17/50 ,  G06F3/0312 ,  G06F3/03543 ,  G06F3/03545 ,  G06F3/03547 ,  G06F3/03548 ,  G06F3/042 ,  G06F3/0421 ,  G06F2203/0338

摘要： 一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法，它包括：用入射照明光照明表面；探测从表面反射的光以形成至少一个探测信号；以及根据上述至少一探测信号确定平行于表面的相对运动的量，其特征在于：上述的确定包含了对垂直于表面的相对运动的影响的校正。