公开(公告)号：CN112614801B

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202011541026.9

申请日：2020-12-23

申请人： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

发明人： 折飞 ,  薛晶 ,  肖方生 ,  岳军 ,  杜虎明 ,  王鹏鹏 ,  薛珺天 ,  段建国 ,  陈嘉荣

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。

公开(公告)号：CN112614800B

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202011541020.1

申请日：2020-12-23

申请人： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

发明人： 王鹏鹏 ,  薛晶 ,  折飞 ,  肖方生 ,  岳军 ,  杜虎明 ,  薛珺天 ,  郭远威 ,  戎有兰

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构及其装篮方法，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。

公开(公告)号：CN112614801A

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN202011541026.9

申请日：2020-12-23

申请人： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

发明人： 折飞 ,  薛晶 ,  肖方生 ,  岳军 ,  杜虎明 ,  王鹏鹏 ,  薛珺天 ,  段建国 ,  陈嘉荣

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。

公开(公告)号：CN112614800A

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN202011541020.1

申请日：2020-12-23

申请人： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

发明人： 王鹏鹏 ,  薛晶 ,  折飞 ,  肖方生 ,  岳军 ,  杜虎明 ,  薛珺天 ,  郭远威 ,  戎有兰

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构及其装篮方法，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。

公开(公告)号：CN213905329U

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202023148940.5

申请日：2020-12-23

申请人： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

发明人： 王鹏鹏 ,  薛晶 ,  折飞 ,  肖方生 ,  岳军 ,  杜虎明 ,  黄晋 ,  李永明 ,  段建国

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。

公开(公告)号：CN213936149U

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202023148947.7

申请日：2020-12-23

申请人： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

发明人： 折飞 ,  薛珺天 ,  薛晶 ,  肖方生 ,  岳军 ,  杜虎明 ,  李永明 ,  王鹏鹏 ,  段建国

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。